| 中文摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-12页 |
| 1.1.1 平面3-RRR微动平台介绍 | 第9-11页 |
| 1.1.2 应用前景 | 第11-12页 |
| 1.2 课题的目的和意义 | 第12页 |
| 1.3 国内外研究综述 | 第12-19页 |
| 1.3.1 裂纹的振动检测方法 | 第13-14页 |
| 1.3.2 平面3-RRR微动平台的建模分析 | 第14-16页 |
| 1.3.3 平面3-RRR微动平台的运动学分析 | 第16-17页 |
| 1.3.4 平面3-RRR微动平台的静力学分析 | 第17-18页 |
| 1.3.5 平面3-RRR微动平台的动力学分析 | 第18-19页 |
| 1.4 本文主要工作 | 第19-20页 |
| 第2章 平面3-RRR微动平台的运动学分析 | 第20-36页 |
| 2.1 基本参数 | 第20-22页 |
| 2.2 位姿分析 | 第22-26页 |
| 2.2.1 位姿正解 | 第22-25页 |
| 2.2.2 位姿反解 | 第25-26页 |
| 2.3 雅克比矩阵近似法 | 第26-29页 |
| 2.3.1 雅克比矩阵简介 | 第26-27页 |
| 2.3.2 雅克比矩阵的求解 | 第27-29页 |
| 2.4 闭合回路位姿正解法 | 第29-32页 |
| 2.5 运动学分析算法实例 | 第32-35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 平面3-RRR微动平台的力学分析 | 第36-41页 |
| 3.1 柔性铰链的静力学分析 | 第36-37页 |
| 3.2 柔性铰链的转动刚度分析 | 第37页 |
| 3.3 平面3-RRR微动平台的动力学分析 | 第37-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 含裂纹平面3-RRR微动平台的力学分析 | 第41-46页 |
| 4.1 含裂纹柔性铰链的转动刚度分析 | 第41-44页 |
| 4.2 含裂纹平面3-RRR微动平台的动力学方程 | 第44-45页 |
| 4.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 基于平面3-RRR微动平台伪刚体模型的裂纹检测方法 | 第46-60页 |
| 5.1 裂纹检测方法的理论分析 | 第46-49页 |
| 5.2 裂纹检测方法的数值模拟 | 第49-50页 |
| 5.3 静态输入裂纹检测的结果与讨论 | 第50-54页 |
| 5.3.1 裂纹位于柔性铰链A_1 | 第50-51页 |
| 5.3.2 裂纹位于柔性铰链B_1 | 第51-53页 |
| 5.3.3 裂纹位于柔性铰链C_1 | 第53-54页 |
| 5.4 动态输入裂纹检测的结果与讨论 | 第54-58页 |
| 5.4.1 裂纹位于柔性铰链A_1 | 第54-56页 |
| 5.4.2 裂纹位于柔性铰链B_1 | 第56-57页 |
| 5.4.3 裂纹位于柔性铰链C_1 | 第57-58页 |
| 5.5 本章小结 | 第58-60页 |
| 第6章 平面3-RRR微动平台裂纹检测方法的实验验证 | 第60-72页 |
| 6.1 实验平台介绍 | 第60-65页 |
| 6.1.1 平面3-RRR微动平台 | 第61-62页 |
| 6.1.2 含裂纹平面3-RRR柔性铰链机构 | 第62页 |
| 6.1.3 压电陶瓷驱动器(PZT) | 第62-63页 |
| 6.1.4 电涡流位移传感器 | 第63-65页 |
| 6.2 实验原理 | 第65-66页 |
| 6.3 实验结果 | 第66-70页 |
| 6.4 本章小结 | 第70-72页 |
| 第7章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 7.1 论文总结 | 第72页 |
| 7.2 展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 附录A 平面3-RRR微动平台的制造设计 | 第80-83页 |
| 攻读硕士学位期间发表与录用的学术论文 | 第83页 |