| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| ·研究背景和意义 | 第9-15页 |
| ·太赫兹波特点 | 第9-10页 |
| ·太赫兹波应用 | 第10-14页 |
| ·太赫兹发展历史 | 第14-15页 |
| ·太赫兹天线技术 | 第15-20页 |
| ·机械天线 | 第15-16页 |
| ·平面集成天线 | 第16-18页 |
| ·新材料天线 | 第18-20页 |
| ·主要内容与章节安排 | 第20-22页 |
| 第2章 太赫兹体硅MEMS多层天线技术 | 第22-36页 |
| ·波纹喇叭天线 | 第22-32页 |
| ·波纹喇叭天线分类 | 第22-26页 |
| ·波纹喇叭天线理论分析 | 第26-32页 |
| ·多层体硅MEMS工艺 | 第32-35页 |
| ·MEMS工艺 | 第32-34页 |
| ·多层工艺 | 第34页 |
| ·多层体硅MEMS工艺制备流程 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 太赫兹多层体硅波纹喇叭天线设计 | 第36-53页 |
| ·0.5THz多层体硅圆口面波纹喇叭天线设计 | 第36-46页 |
| ·0.5THz多层体硅圆口面波纹喇叭天线设计 | 第36-39页 |
| ·0.5THz多层体硅圆口面波纹喇叭天线结构优化分析 | 第39-44页 |
| ·0.5THz多层体硅圆口面波纹喇叭天线误差分析 | 第44-46页 |
| ·0.5THz多层体硅角锥波纹喇叭天线设计 | 第46-49页 |
| ·0.5THz多层体硅对角波纹喇叭天线设计 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第4章 太赫兹多层体硅波纹喇叭天线测试 | 第53-65页 |
| ·天线工艺制备 | 第53-54页 |
| ·天线测试工装设计 | 第54-57页 |
| ·天线驻波测试 | 第57-59页 |
| ·天线驻波测试系统与方法 | 第57-58页 |
| ·天线驻波测试结果与分析 | 第58-59页 |
| ·天线方向图测试 | 第59-64页 |
| ·天线方向图测试条件分析 | 第59-60页 |
| ·天线方向图测试系统与方法 | 第60-62页 |
| ·天线方向图测试结果与分析 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第5章 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·全文工作总结 | 第65页 |
| ·创新点 | 第65-66页 |
| ·后续工作展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |