| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·金属薄膜/聚酰亚胺组合体系 | 第10-11页 |
| ·脉冲激光技术的发展状况 | 第11-12页 |
| ·脉冲激光刻蚀的研究现状 | 第12-16页 |
| ·国外研究进展 | 第13-15页 |
| ·国内研究进展 | 第15-16页 |
| ·激光刻蚀模型的研究状况 | 第16-17页 |
| ·数值模拟方法 | 第17-19页 |
| ·数值模拟的优点与步骤 | 第17-18页 |
| ·激光刻蚀数值模拟方法 | 第18-19页 |
| ·论文简介 | 第19页 |
| ·本章小结 | 第19-21页 |
| 第2章 激光与材料的相互作用基础理论 | 第21-34页 |
| ·激光的吸收 | 第21-26页 |
| ·材料的反射率和吸收系数 | 第22-23页 |
| ·金属对激光的吸收及其影响因素 | 第23-26页 |
| ·非金属对激光的吸收 | 第26页 |
| ·激光的表面效应 | 第26页 |
| ·激光对材料的加热 | 第26-30页 |
| ·材料中热传递方式 | 第27-28页 |
| ·热传导方程 | 第28页 |
| ·边界条件和初始条件 | 第28-30页 |
| ·热分析材料重要属性 | 第30页 |
| ·热传导率 | 第30页 |
| ·比热容 | 第30页 |
| ·吸收系数 | 第30页 |
| ·相变问题 | 第30-31页 |
| ·有限元方法和COMSOL Multiphysics软件简介 | 第31-33页 |
| ·有限元方法的基本思想 | 第31-32页 |
| ·有限元软件COMSOL Multiphysics简介 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 激光刻蚀模型的建立及温度场分析 | 第34-43页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·激光刻蚀模型的建立 | 第34-39页 |
| ·理论模型 | 第34-36页 |
| ·边界条件的选择 | 第36-37页 |
| ·相变的处理 | 第37-38页 |
| ·网格划分 | 第38页 |
| ·材料参数的选择 | 第38-39页 |
| ·温度场数值分析 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 激光刻蚀数值分析 | 第43-50页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·单脉冲激光刻蚀模拟分析 | 第43-45页 |
| ·多脉冲激光刻蚀模拟分析 | 第45-46页 |
| ·激光刻蚀金属薄膜/聚酰亚胺机理探究 | 第46-47页 |
| ·激光刻蚀多层金属薄膜的温度场分布 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 结论与展望 | 第50-52页 |
| ·结论 | 第50-51页 |
| ·展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 附录A 攻读硕士期间发表学术论文目录 | 第59页 |