| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·激光加工技术和发展动态 | 第9-11页 |
| ·激光加工技术的研究背景 | 第9-10页 |
| ·激光加工技术的发展与现状 | 第10-11页 |
| ·永磁技术和电磁技术的研究动态 | 第11-14页 |
| ·永磁技术和电磁技术的研究背景 | 第11-13页 |
| ·永磁技术和电磁技术的发展与现状 | 第13-14页 |
| ·课题的提出及研究意义 | 第14-16页 |
| ·课题的提出 | 第14-15页 |
| ·研究意义 | 第15-16页 |
| ·主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 3 自由度等刚度永磁平台的力学特性与磁场特性分析 | 第17-32页 |
| ·单组永磁体数学模型的建立 | 第17-21页 |
| ·磁导计算 | 第17-19页 |
| ·磁环与磁柱间的磁通 | 第19-20页 |
| ·径向磁力数学模型 | 第20-21页 |
| ·径向磁力与径向和轴向位移的计算分析 | 第21页 |
| ·有限元仿真与理论计算对比 | 第21-23页 |
| ·磁感应强度分析 | 第23-24页 |
| ·径向磁力与永磁体参数的关系 | 第24-27页 |
| ·实验验证 | 第27-29页 |
| ·平台结构及工作原理 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 驱动用电磁铁的磁力分析 | 第32-38页 |
| ·电磁铁的电磁力数学模型的建立及分析 | 第32-37页 |
| ·电磁铁的电磁力数学模型的建立 | 第32-35页 |
| ·电磁铁对坡莫合金吸力的计算、有限元和实验测量对比 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 实验平台的搭建与结构分析 | 第38-42页 |
| ·微动平台的设计与硬件设备 | 第38-40页 |
| ·微动平台硬件系统的连接 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第5章 焦点控制系统的性能分析 | 第42-61页 |
| ·焦点控制系统微动平台的动力学方程的建立 | 第42-47页 |
| ·差动式电磁铁组驱动力的数学模型的建立 | 第43-44页 |
| ·水平方向永磁弹簧回复力的数学模型的建立 | 第44-45页 |
| ·系统动力学模型的建立 | 第45-47页 |
| ·控制系统的可控性及可观测性分析 | 第47-48页 |
| ·控制系统的建立与差动特性仿真 | 第48-53页 |
| ·控制系统的建立 | 第53-60页 |
| ·电涡流位移传感器的校正 | 第53-55页 |
| ·实验验证 | 第55-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第6章 结论 | 第61-63页 |
| ·结论 | 第61页 |
| ·工作展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 在学研究成果 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |