| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| ·纳米科技概述 | 第11-12页 |
| ·微纳米显微成像技术的发展历史 | 第12-16页 |
| ·光学显微镜与电子显微镜 | 第12-14页 |
| ·扫描隧道显微镜(STM)及其应用 | 第14-15页 |
| ·扫描探针显微镜(SPM)技术 | 第15-16页 |
| ·原子力显微镜(AFM)技术的研究现状及应用 | 第16-17页 |
| ·本课题的研究内容及研究成果 | 第17-21页 |
| 第二章 原子力显微镜的基本原理与方法 | 第21-31页 |
| ·AFM的基本工作原理 | 第21-22页 |
| ·微悬臂偏转量的检测方法 | 第22-24页 |
| ·AFM的工作模式 | 第24-25页 |
| ·等高模式 | 第24页 |
| ·恒原子力模式 | 第24-25页 |
| ·AFM的扫描方式 | 第25-27页 |
| ·样品扫描方式 | 第25-26页 |
| ·探针扫描方式 | 第26-27页 |
| ·样品扫描探针反馈方式 | 第27页 |
| ·AFM仪器技术及特点 | 第27-31页 |
| 第三章 多扫描器原子力显微镜探头及其扫描控制方法研究 | 第31-39页 |
| ·新型多扫描器AFM探头 | 第31-32页 |
| ·AFM探头的光路设计 | 第32-33页 |
| ·样品扫描时的光路 | 第32-33页 |
| ·探针扫描时的光路 | 第33页 |
| ·多扫描器的扫描控制新方法 | 第33-37页 |
| ·三管式压电陶瓷扫描及反馈控制方法 | 第34-35页 |
| ·叠层式压电陶瓷的扫描控制方法 | 第35-36页 |
| ·步进扫描与压电反馈控制模式 | 第36-37页 |
| ·基于步进扫描的序列图像拼接方法 | 第37-39页 |
| 第四章 多扫描器原子力显微镜系统研制 | 第39-61页 |
| ·系统的总体方案 | 第39-41页 |
| ·多扫描器AFM探头研制 | 第41-45页 |
| ·探头的总体架构 | 第41-42页 |
| ·光路系统设计 | 第42-43页 |
| ·三管式压电陶瓷扫描控制器设计 | 第43页 |
| ·叠层式压电陶瓷控制器制作 | 第43-44页 |
| ·步进扫描台与压电反馈控制器研制 | 第44-45页 |
| ·多扫描器AFM的控制电路研制 | 第45-52页 |
| ·前置放大电路 | 第45-47页 |
| ·压电陶瓷扫描控制电路 | 第47-48页 |
| ·二维步进扫描控制电路 | 第48-50页 |
| ·压电陶瓷反馈控制电路 | 第50-52页 |
| ·计算机硬件接口设计 | 第52-53页 |
| ·多扫描器AFM扫描控制软件 | 第53-61页 |
| ·软件总体界面 | 第53-54页 |
| ·扫描图像获取与处理及三维显示 | 第54-59页 |
| ·AFM序列图像拼接 | 第59-61页 |
| 第五章 多扫描器原子力显微镜的实验研究 | 第61-75页 |
| ·基于三管式压电扫描的高分辨AFM成像实验 | 第61-64页 |
| ·多孔氧化铝的纳米结构 | 第61-62页 |
| ·硅基锗量子点的高分辨AFM成像 | 第62-64页 |
| ·基于叠层式压电扫描的AFM成像实验 | 第64-66页 |
| ·标准光栅的微纳米结构 | 第64-65页 |
| ·硅基锗量子点的微纳米结构 | 第65-66页 |
| ·基于步进扫描台的光栅大范围AFM成像 | 第66-72页 |
| ·新型多扫描器AFM系统的选区扫描实验 | 第72-75页 |
| 第六章 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·研究工作总结 | 第75-76页 |
| ·展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 作者简介 | 第81页 |
| 硕士在读期间发表论文和完成工作情况 | 第81页 |