| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-25页 |
| ·太阳能电池简介 | 第10-15页 |
| ·太阳能电池利用的重要性 | 第10-12页 |
| ·太阳能电池的发展与现状 | 第12-13页 |
| ·太阳能电池基础 | 第13-15页 |
| ·CIGS薄膜太阳能电池简介 | 第15-23页 |
| ·CIGS太阳能电池的发展与现状 | 第15-18页 |
| ·CIGS太阳能电池的结构及特性 | 第18-21页 |
| ·CIGS薄膜的制备方法 | 第21-23页 |
| ·本论文研究的内容 | 第23-25页 |
| 第二章 实验方法 | 第25-35页 |
| ·光吸收层CIGS薄膜的制备 | 第25-28页 |
| ·磁控溅射简介 | 第25-27页 |
| ·衬底的选择与清洗 | 第27页 |
| ·Mo层薄膜的制备 | 第27-28页 |
| ·CIGS层薄膜的制备 | 第28页 |
| ·缓冲层CdS薄膜的制备 | 第28-30页 |
| ·化学水浴沉积CdS薄膜的机理 | 第28-29页 |
| ·化学水浴法沉积CdS薄膜 | 第29-30页 |
| ·窗口层ZnO的制备 | 第30页 |
| ·材料的测试方法 | 第30-35页 |
| ·扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope) | 第31页 |
| ·能谱仪(Energy Dispersive Spectroscopy) | 第31-32页 |
| ·X射线衍射仪(X-ray Diffraction) | 第32页 |
| ·紫外-可见光分光光度计(UV-Vis) | 第32-33页 |
| ·霍尔测试系统(Hall Measurement) | 第33-35页 |
| 第三章 光吸收层CIGS薄膜的实验结果与讨论 | 第35-49页 |
| ·衬底温度的选择 | 第35-37页 |
| ·溅射功率对CIGS薄膜的影响 | 第37-40页 |
| ·溅射功率对CIGS薄膜微观形貌的影响 | 第37-38页 |
| ·溅射功率对CIGS薄膜晶体结构的影响 | 第38-40页 |
| ·溅射气压对CIGS薄膜的影响 | 第40-45页 |
| ·气压对CIGS薄膜形貌和结构的影响 | 第40-43页 |
| ·气压对CIGS薄膜成份的影响 | 第43-44页 |
| ·气压对CIGS薄膜电学特性的影响 | 第44-45页 |
| ·关于CIGS薄膜晶体生长现象的探讨 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 缓冲层CdS及窗口层ZnO的实验结果与讨论 | 第49-64页 |
| ·缓冲层CdS薄膜实验结果分析 | 第49-54页 |
| ·成膜分析 | 第49-51页 |
| ·退火对CdS薄膜的影响 | 第51-54页 |
| ·窗口层i-ZnO和ZnO：Al薄膜实验结果分析 | 第54-63页 |
| ·i-ZnO成膜分析 | 第54-55页 |
| ·溅射功率对ZnO：Al薄膜的影响 | 第55-59页 |
| ·衬底温度对ZnO：Al薄膜的影响 | 第59-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 CIGS薄膜太阳能电池的制备及性能研究 | 第64-69页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·CIGS薄膜太阳能电池的制备 | 第64-66页 |
| ·Mo背接触层的制备 | 第64-65页 |
| ·CIGS吸收层的制备 | 第65页 |
| ·CdS缓冲层的制备 | 第65页 |
| ·ZnO窗口层的制备 | 第65页 |
| ·上电极的制备 | 第65-66页 |
| ·CIGS太阳能电池实验结果与讨论 | 第66-68页 |
| ·吸收层工艺对CIGS器件的影响 | 第66-67页 |
| ·CdS缓冲层对CIGS器件的影响 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 结论 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 硕士期间取得的研究成果 | 第78页 |
