高精度衍射光栅干涉位移传感器及关键技术研究
| 摘要 | 第1-9页 |
| ABSTRACT | 第9-11页 |
| 致谢 | 第11-19页 |
| 第1章 绪论 | 第19-32页 |
| ·概述 | 第19-22页 |
| ·国内外衍射光栅干涉测量系统的研究现状及趋势 | 第22-30页 |
| ·一次衍射光干涉测量系统 | 第22-26页 |
| ·二次衍射光干涉测量系统 | 第26-29页 |
| ·三光栅测量系统 | 第29-30页 |
| ·反射式衍射光栅干涉测量系统研究的趋势 | 第30页 |
| ·课题来源，研究内容和意义 | 第30-32页 |
| 第2章 计量光栅测量应用特性分析 | 第32-54页 |
| ·机床用光栅的制造简述 | 第32页 |
| ·光栅衍射次数和级数特性分析 | 第32-33页 |
| ·计量光栅的衍射效率特性分析 | 第33-49页 |
| ·低线数光栅的衍射效率特性分析 | 第34-35页 |
| ·光栅栅形对衍射效率的影响 | 第35-38页 |
| ·表面粗糙度对光栅衍射效率的影响 | 第38-40页 |
| ·高线数光栅的衍射效率特性分析 | 第40-41页 |
| ·耦合波方法 | 第41-44页 |
| ·高线数光栅衍射效率特性的数值分析 | 第44-49页 |
| ·光栅干涉测量系统干涉光强分布 | 第49-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第3章 衍射光栅干涉位移传感器原理和设计 | 第54-78页 |
| ·衍射光栅干涉位移传感器测量原理 | 第54-56页 |
| ·光栅干涉测量系统的设计 | 第56-64页 |
| ·琼斯矩阵法分析 | 第59-64页 |
| ·元件的选择 | 第64-75页 |
| ·光源的选择 | 第64-68页 |
| ·光栅的选择 | 第68页 |
| ·光学镜组元件选择 | 第68-71页 |
| ·单倍望远镜系统原理 | 第71-73页 |
| ·光电探测器的选择 | 第73页 |
| ·光学零件粘接 | 第73-75页 |
| ·光学元件机械夹持结构的设计 | 第75-77页 |
| ·激光器底座 | 第76页 |
| ·反射镜底座 | 第76页 |
| ·一体式夹紧机构设计 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第4章 光栅信号的误差分析与修正 | 第78-103页 |
| ·测量系统的误差源分析 | 第78-85页 |
| ·光源误差分析 | 第79-81页 |
| ·光栅误差分析 | 第81-82页 |
| ·电路误差分析 | 第82-84页 |
| ·环境误差影响分析 | 第84-85页 |
| ·光栅副相互位置偏差对信号的影响分析及实验 | 第85-101页 |
| ·软件仿真光路 | 第85-87页 |
| ·理论分析光栅副相互位置偏差对干涉条纹质量的影响 | 第87-92页 |
| ·干涉条纹仿真分析 | 第92页 |
| ·误差分析 | 第92-94页 |
| ·光栅俯仰误差实验测试 | 第94-101页 |
| ·本章总结 | 第101-103页 |
| 第5章 衍射光栅测量系统实验及精度研究 | 第103-117页 |
| ·测量信号高精度处理方法研究 | 第103-104页 |
| ·电路设计 | 第104-105页 |
| ·信号细分技术和数据采集 | 第105-109页 |
| ·细分方法 | 第106-108页 |
| ·辨向和计数方法 | 第108-109页 |
| ·电路测试装置 | 第109-111页 |
| ·性能测试实验 | 第111-116页 |
| ·位移测量实验 | 第111-113页 |
| ·小步距和长行程实验 | 第113-114页 |
| ·稳定度实验 | 第114-115页 |
| ·高频噪声测试实验 | 第115-116页 |
| ·本章小结 | 第116-117页 |
| 第6章 总结与展望 | 第117-120页 |
| ·本论文主要工作总结 | 第117-118页 |
| ·研究工作展望 | 第118-120页 |
| 参考文献 | 第120-131页 |
| 攻读博士学位期间发表论文、专利与获奖 | 第131页 |
