摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-11页 |
第一章 绪论 | 第11-22页 |
·多层膜概述 | 第11页 |
·多层膜的性质 | 第11-14页 |
·超硬效应 | 第12页 |
·耐磨性能 | 第12-13页 |
·巨磁阻效应 | 第13-14页 |
·耐腐蚀性能 | 第14页 |
·多层膜的应用 | 第14-15页 |
·多层膜的研究现状 | 第15-16页 |
·多层膜的制备方法 | 第16-20页 |
·物理方法 | 第16页 |
·化学方法 | 第16-17页 |
·电化学法 | 第17-20页 |
·本文主要研究内容 | 第20-22页 |
第二章 多元阵列喷射电沉积制备铜/镍多层膜的试验原理与方法 | 第22-42页 |
·喷射电沉积制备多层膜的优越性 | 第22-24页 |
·喷射电沉积原理 | 第22页 |
·喷射电沉积制备多层膜的优越性 | 第22-24页 |
·试验原理和装置 | 第24-36页 |
·试验原理 | 第24-25页 |
·多元阵列喷射电沉积系统 | 第25-27页 |
·试验装置设计中的关键问题 | 第27-28页 |
·切换比控制器设计 | 第28-36页 |
·试验方法 | 第36-37页 |
·试验方法 | 第36-37页 |
·试验参数选择 | 第37页 |
·多层膜结构与性能表征 | 第37-41页 |
·SEM 分析 | 第37页 |
·XRD 分析 | 第37-38页 |
·显微硬度的测量 | 第38-40页 |
·耐磨损性能测试 | 第40页 |
·耐腐蚀性能测试 | 第40-41页 |
·本章小结 | 第41-42页 |
第三章 铜镍多层膜的微观组织结构分析 | 第42-51页 |
·多层膜 SEM 表征 | 第42-48页 |
·切换比对多层膜调制波长的影响 | 第42-46页 |
·喷嘴大小对多层膜调制波长的影响 | 第46-48页 |
·多层膜 XRD 表征 | 第48-50页 |
·本章小结 | 第50-51页 |
第四章 铜镍多层膜的性能研究 | 第51-64页 |
·多层膜的硬度 | 第51-53页 |
·调制波长对显微硬度的影响 | 第51-52页 |
·铜子层厚度对显微硬度的影响 | 第52-53页 |
·多层膜的耐磨损性能 | 第53-58页 |
·调制波长对耐磨损性能影响 | 第53-56页 |
·铜子层厚度对耐磨损性能的影响 | 第56-58页 |
·多层膜的耐腐蚀性能 | 第58-63页 |
·调制波长对耐腐蚀性能影响 | 第58-61页 |
·铜子层厚度对耐腐蚀性能的影响 | 第61-63页 |
·本章小结 | 第63-64页 |
第五章 总结和展望 | 第64-66页 |
·研究总结 | 第64页 |
·工作展望 | 第64-66页 |
参考文献 | 第66-71页 |
致谢 | 第71-72页 |
在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第72页 |