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多元阵列喷射电沉积制备铜/镍多层膜及其性能研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-11页
第一章 绪论第11-22页
   ·多层膜概述第11页
   ·多层膜的性质第11-14页
     ·超硬效应第12页
     ·耐磨性能第12-13页
     ·巨磁阻效应第13-14页
     ·耐腐蚀性能第14页
   ·多层膜的应用第14-15页
   ·多层膜的研究现状第15-16页
   ·多层膜的制备方法第16-20页
     ·物理方法第16页
     ·化学方法第16-17页
     ·电化学法第17-20页
   ·本文主要研究内容第20-22页
第二章 多元阵列喷射电沉积制备铜/镍多层膜的试验原理与方法第22-42页
   ·喷射电沉积制备多层膜的优越性第22-24页
     ·喷射电沉积原理第22页
     ·喷射电沉积制备多层膜的优越性第22-24页
   ·试验原理和装置第24-36页
     ·试验原理第24-25页
     ·多元阵列喷射电沉积系统第25-27页
     ·试验装置设计中的关键问题第27-28页
     ·切换比控制器设计第28-36页
   ·试验方法第36-37页
     ·试验方法第36-37页
     ·试验参数选择第37页
   ·多层膜结构与性能表征第37-41页
     ·SEM 分析第37页
     ·XRD 分析第37-38页
     ·显微硬度的测量第38-40页
     ·耐磨损性能测试第40页
     ·耐腐蚀性能测试第40-41页
   ·本章小结第41-42页
第三章 铜镍多层膜的微观组织结构分析第42-51页
   ·多层膜 SEM 表征第42-48页
     ·切换比对多层膜调制波长的影响第42-46页
     ·喷嘴大小对多层膜调制波长的影响第46-48页
   ·多层膜 XRD 表征第48-50页
   ·本章小结第50-51页
第四章 铜镍多层膜的性能研究第51-64页
   ·多层膜的硬度第51-53页
     ·调制波长对显微硬度的影响第51-52页
     ·铜子层厚度对显微硬度的影响第52-53页
   ·多层膜的耐磨损性能第53-58页
     ·调制波长对耐磨损性能影响第53-56页
     ·铜子层厚度对耐磨损性能的影响第56-58页
   ·多层膜的耐腐蚀性能第58-63页
     ·调制波长对耐腐蚀性能影响第58-61页
     ·铜子层厚度对耐腐蚀性能的影响第61-63页
   ·本章小结第63-64页
第五章 总结和展望第64-66页
   ·研究总结第64页
   ·工作展望第64-66页
参考文献第66-71页
致谢第71-72页
在学期间的研究成果及发表的学术论文第72页

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