径向剪切干涉仪光学系统设计与研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 引言 | 第7-10页 |
| ·课题背景 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-9页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第9-10页 |
| 2 瞬态波面位相实时检测技术 | 第10-18页 |
| ·哈特曼法 | 第10-11页 |
| ·剪切法 | 第11-15页 |
| ·横向剪切法 | 第11-13页 |
| ·径向剪切法 | 第13-15页 |
| ·径向剪切干涉仪系统原理 | 第15-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 3 径向剪切干涉仪光学系统设计 | 第18-32页 |
| ·技术指标 | 第18页 |
| ·主体光路设计 | 第18-23页 |
| ·望远系统 | 第19-21页 |
| ·三平板剪切干涉系统 | 第21-23页 |
| ·成像系统设计 | 第23-29页 |
| ·0.57倍成像系统设计 | 第24-26页 |
| ·1倍成像系统设计 | 第26-27页 |
| ·1.7倍成像系统设计 | 第27-29页 |
| ·标准平面波设计 | 第29-31页 |
| ·公差分析 | 第31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 4 径向剪切干涉仪系统装调及光路构建 | 第32-44页 |
| ·机械结构设计 | 第32-33页 |
| ·系统装调 | 第33-37页 |
| ·望远系统装调 | 第33-34页 |
| ·成像系统装调 | 第34-36页 |
| ·分束镜装调 | 第36-37页 |
| ·光路调整方法 | 第37-38页 |
| ·反射光调整方法 | 第37-38页 |
| ·共光路调整方法 | 第38页 |
| ·系统光路构建 | 第38-41页 |
| ·标准平面波构建 | 第39页 |
| ·三平板剪切系统构建 | 第39-40页 |
| ·引入其它元件后的光路构建 | 第40-41页 |
| ·干涉图采集及处理 | 第41-43页 |
| ·干涉图采集系统 | 第41-42页 |
| ·干涉图处理 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 5 系统精度验证及应用性实验 | 第44-51页 |
| ·系统精度验证 | 第44-46页 |
| ·系统重复性测量 | 第46-48页 |
| ·应用性实验 | 第48-50页 |
| ·透射波前测量 | 第48-49页 |
| ·面形测量 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 6 总结与展望 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-54页 |
