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阴极跳跃冲液的数值模拟与微细电解加工试验

摘要第1-5页
Abstract第5-14页
第一章 绪论第14-24页
   ·电解加工技术的原理与特点第14页
   ·电解加工技术的研究与发展第14-18页
     ·微细电解加工技术第15页
     ·数控电解加工技术第15-16页
     ·电解复合加工技术第16-17页
     ·脉冲电流电解加工技术第17-18页
   ·微细电解加工技术第18-22页
     ·脉冲电流微细电解加工第18-19页
     ·掩膜微细电解加工第19-20页
     ·电液束微细电解加工第20-21页
     ·扫描探针微细电解加工第21页
     ·约束刻蚀剂层技术第21-22页
   ·课题来源、研究意义及主要研究内容第22-24页
     ·课题来源及研究意义第22页
     ·本文主要研究内容第22-24页
第二章 阴极周期性跳跃冲液的微细电解加工第24-33页
   ·电解加工基础理论第24-26页
     ·法拉第定律第24-25页
     ·阳极极化第25页
     ·电极/溶液界面双电层第25-26页
   ·微细电解加工的特点第26-27页
   ·影响微细电解加工性能的因素分析第27-29页
     ·影响加工定域性的因素第27-28页
     ·影响加工稳定性的因素第28-29页
   ·跳跃冲液的微细电解加工第29-32页
     ·微细电解加工的传质过程及其影响第29-30页
     ·跳跃冲液的微细电解加工第30-31页
     ·跳跃冲液对电解液更新的影响第31-32页
   ·本章小结第32-33页
第三章 跳跃冲液流场过程的数值模拟第33-54页
   ·微尺度流动问题第33-35页
     ·尺度划分与连续介质假设第33页
     ·表面效应第33-34页
     ·壁面的影响第34页
     ·稀薄性与压缩性第34-35页
   ·数值模拟的可行性分析第35-36页
   ·计算流体动力学与Fluent第36页
   ·数值模拟的计算模型第36-40页
     ·模型简化与建立第36-37页
     ·网格划分第37-38页
     ·基本动力学方程第38-39页
     ·动网格及UDF第39-40页
   ·结果与分析第40-53页
     ·阴极运动对流场的影响第40-44页
       ·阴极运动加速度对流场的影响第40-42页
       ·阴极运动高度对流场的影响第42页
       ·侧面间隙大小对流场的影响第42-44页
     ·阴极运动对电解产物输运的影响第44-53页
       ·阴极运动加速度对电解产物输运的影响第45-49页
       ·侧面间隙大小对电解产物输运的影响第49-53页
   ·本章小结第53-54页
第四章 微细电解加工试验第54-78页
   ·阴极跳跃冲液的微细电解加工试验系统第54-59页
     ·微细电解加工装置第54-55页
     ·加工试验系统的控制第55-58页
       ·硬件组成第55-56页
       ·控制方案第56-58页
     ·加工电源第58-59页
     ·电解液第59页
   ·微细工具电极的制备第59-67页
     ·微细圆柱状电极的制备第60-62页
       ·微细圆柱状电极的制备原理第60-61页
       ·微细圆柱状电极加工试验第61-62页
     ·微细倒锥形电极的制备第62-65页
       ·微细倒锥形电极的制备原理第62-64页
       ·微细倒锥形电极的加工试验第64-65页
     ·工具电极侧壁绝缘第65-67页
       ·绝缘前的基体处理第65-66页
       ·真空气相沉积法绝缘第66-67页
   ·跳跃冲液的微细电解加工试验第67-76页
     ·阴极回退加速度对侧面加工间隙的影响第67-70页
     ·阴极回退高度对侧面加工间隙的影响第70-73页
     ·电极直径大小对侧面加工间隙的影响第73-74页
     ·微小方孔电解加工试验研究第74-76页
   ·本章小结第76-78页
第五章 总结与展望第78-80页
   ·本文研究工作总结第78页
   ·对本课题研究的展望第78-80页
参考文献第80-84页
致谢第84-85页
在学期间研究成果及发表的学术论文第85页

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