阴极跳跃冲液的数值模拟与微细电解加工试验
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-14页 |
第一章 绪论 | 第14-24页 |
·电解加工技术的原理与特点 | 第14页 |
·电解加工技术的研究与发展 | 第14-18页 |
·微细电解加工技术 | 第15页 |
·数控电解加工技术 | 第15-16页 |
·电解复合加工技术 | 第16-17页 |
·脉冲电流电解加工技术 | 第17-18页 |
·微细电解加工技术 | 第18-22页 |
·脉冲电流微细电解加工 | 第18-19页 |
·掩膜微细电解加工 | 第19-20页 |
·电液束微细电解加工 | 第20-21页 |
·扫描探针微细电解加工 | 第21页 |
·约束刻蚀剂层技术 | 第21-22页 |
·课题来源、研究意义及主要研究内容 | 第22-24页 |
·课题来源及研究意义 | 第22页 |
·本文主要研究内容 | 第22-24页 |
第二章 阴极周期性跳跃冲液的微细电解加工 | 第24-33页 |
·电解加工基础理论 | 第24-26页 |
·法拉第定律 | 第24-25页 |
·阳极极化 | 第25页 |
·电极/溶液界面双电层 | 第25-26页 |
·微细电解加工的特点 | 第26-27页 |
·影响微细电解加工性能的因素分析 | 第27-29页 |
·影响加工定域性的因素 | 第27-28页 |
·影响加工稳定性的因素 | 第28-29页 |
·跳跃冲液的微细电解加工 | 第29-32页 |
·微细电解加工的传质过程及其影响 | 第29-30页 |
·跳跃冲液的微细电解加工 | 第30-31页 |
·跳跃冲液对电解液更新的影响 | 第31-32页 |
·本章小结 | 第32-33页 |
第三章 跳跃冲液流场过程的数值模拟 | 第33-54页 |
·微尺度流动问题 | 第33-35页 |
·尺度划分与连续介质假设 | 第33页 |
·表面效应 | 第33-34页 |
·壁面的影响 | 第34页 |
·稀薄性与压缩性 | 第34-35页 |
·数值模拟的可行性分析 | 第35-36页 |
·计算流体动力学与Fluent | 第36页 |
·数值模拟的计算模型 | 第36-40页 |
·模型简化与建立 | 第36-37页 |
·网格划分 | 第37-38页 |
·基本动力学方程 | 第38-39页 |
·动网格及UDF | 第39-40页 |
·结果与分析 | 第40-53页 |
·阴极运动对流场的影响 | 第40-44页 |
·阴极运动加速度对流场的影响 | 第40-42页 |
·阴极运动高度对流场的影响 | 第42页 |
·侧面间隙大小对流场的影响 | 第42-44页 |
·阴极运动对电解产物输运的影响 | 第44-53页 |
·阴极运动加速度对电解产物输运的影响 | 第45-49页 |
·侧面间隙大小对电解产物输运的影响 | 第49-53页 |
·本章小结 | 第53-54页 |
第四章 微细电解加工试验 | 第54-78页 |
·阴极跳跃冲液的微细电解加工试验系统 | 第54-59页 |
·微细电解加工装置 | 第54-55页 |
·加工试验系统的控制 | 第55-58页 |
·硬件组成 | 第55-56页 |
·控制方案 | 第56-58页 |
·加工电源 | 第58-59页 |
·电解液 | 第59页 |
·微细工具电极的制备 | 第59-67页 |
·微细圆柱状电极的制备 | 第60-62页 |
·微细圆柱状电极的制备原理 | 第60-61页 |
·微细圆柱状电极加工试验 | 第61-62页 |
·微细倒锥形电极的制备 | 第62-65页 |
·微细倒锥形电极的制备原理 | 第62-64页 |
·微细倒锥形电极的加工试验 | 第64-65页 |
·工具电极侧壁绝缘 | 第65-67页 |
·绝缘前的基体处理 | 第65-66页 |
·真空气相沉积法绝缘 | 第66-67页 |
·跳跃冲液的微细电解加工试验 | 第67-76页 |
·阴极回退加速度对侧面加工间隙的影响 | 第67-70页 |
·阴极回退高度对侧面加工间隙的影响 | 第70-73页 |
·电极直径大小对侧面加工间隙的影响 | 第73-74页 |
·微小方孔电解加工试验研究 | 第74-76页 |
·本章小结 | 第76-78页 |
第五章 总结与展望 | 第78-80页 |
·本文研究工作总结 | 第78页 |
·对本课题研究的展望 | 第78-80页 |
参考文献 | 第80-84页 |
致谢 | 第84-85页 |
在学期间研究成果及发表的学术论文 | 第85页 |