| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 图表清单 | 第8-10页 |
| 注释表 | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·CBN 的结构与性质 | 第11-14页 |
| ·CBN 涂层的制备方法及表征 | 第14-17页 |
| ·cBN 涂层的制备方法 | 第14-15页 |
| ·cBN 涂层的表征 | 第15-17页 |
| ·CBN 涂层的国内外研究现状及存在的问题 | 第17-18页 |
| ·研究现状 | 第17-18页 |
| ·存在的主要问题 | 第18页 |
| ·本文的研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 CBN 涂层的沉积原理及实验设备改进 | 第20-27页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·CBN 的生长模型 | 第20-21页 |
| ·射频磁控溅射设备改进 | 第21-25页 |
| ·射频磁控溅射原理 | 第21-24页 |
| ·实验设备改进 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 微/纳米金刚石过渡层的制备 | 第27-40页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·微/纳米金刚石的实验方法 | 第27-30页 |
| ·金刚石沉积设备及原理 | 第28页 |
| ·影响金刚石涂层晶粒尺寸的因素 | 第28-30页 |
| ·微/纳米金刚石过渡层的制备 | 第30-34页 |
| ·实验方案设计 | 第30-31页 |
| ·结果与分析 | 第31-34页 |
| ·微/纳米金刚石过渡层参数初步优化 | 第34-36页 |
| ·实验方案设计 | 第34-35页 |
| ·结果与分析 | 第35-36页 |
| ·金刚石过渡层的 FTIR 分析 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 反应气氛中离子轰击的仿真研究 | 第40-47页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·模拟软件简介及相关理论 | 第40-41页 |
| ·离子轰击角度对涂层的影响 | 第41-43页 |
| ·离子轰击能量对涂层的影响 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第五章 基于微/纳米金刚石过渡层的 CBN 涂层沉积工艺研究 | 第47-62页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·沉积前预溅射工艺 | 第47页 |
| ·沉积参数对 CBN 沉积影响的研究 | 第47-56页 |
| ·衬底负偏压对沉积 cBN 涂层的影响 | 第47-51页 |
| ·衬底温度对沉积 cBN 涂层的影响 | 第51-53页 |
| ·沉积气压对沉积 cBN 涂层的影响 | 第53-55页 |
| ·沉积气体成分对沉积 cBN 涂层的影响 | 第55-56页 |
| ·溅射法沉积 CBN 的机理分析及涂层性能检测 | 第56-60页 |
| ·溅射法沉积 cBN 的机理分析 | 第56-57页 |
| ·cBN 涂层的性能检测 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·总结 | 第62-63页 |
| ·展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第69页 |