| 摘要 | 第1-11页 |
| ABSTRACT | 第11-13页 |
| 符号说明 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-25页 |
| ·太阳能电池的研究现状 | 第14-18页 |
| ·太阳能利用概述 | 第14-16页 |
| ·太阳能电池的种类及发展应用 | 第16-18页 |
| ·非晶硅薄膜太阳能电池的研究 | 第18-20页 |
| ·铝膜的应用发展 | 第20-22页 |
| ·氧化物透明导电薄膜 | 第22-23页 |
| ·透明导电薄膜种类 | 第22页 |
| ·ZnO基透明导电薄膜的研究 | 第22-23页 |
| ·研究课题选取及主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 实验方法 | 第25-36页 |
| ·太阳能电池的基本原理 | 第25-27页 |
| ·太阳能电池的基本原理 | 第25-26页 |
| ·太阳能电池的主要性能参数 | 第26-27页 |
| ·GZO/Al复合背电极的应用原理 | 第27-28页 |
| ·样品的制备 | 第28-31页 |
| ·磁控溅射法制备Al膜和GZO膜 | 第28-29页 |
| ·非晶硅太阳能电池的制备 | 第29-31页 |
| ·测试方法 | 第31-36页 |
| ·薄膜厚度的测量 | 第31页 |
| ·方块电阻的测量 | 第31-32页 |
| ·薄膜的光学特性的测量 | 第32-33页 |
| ·薄膜的结构特性测量 | 第33-34页 |
| ·太阳能电池的Ⅰ-Ⅴ测试 | 第34页 |
| ·太阳能电池量子效率 | 第34-36页 |
| 第三章 铝膜制备与光学特性研究 | 第36-44页 |
| ·溅射功率对Al膜沉积速率的影响 | 第36-38页 |
| ·直流溅射功率与Al膜沉积速率的关系 | 第36-37页 |
| ·射频溅射功率与Al膜沉积速率的关系 | 第37-38页 |
| ·溅射功率对Al膜光学性能的影响 | 第38-41页 |
| ·直流溅射功率对Al膜光学性能的影响 | 第38-40页 |
| ·射频溅射功率对Al膜光学性能的影响 | 第40-41页 |
| ·薄膜厚度对铝膜光学性能的影响 | 第41-42页 |
| ·小结 | 第42-44页 |
| 第四章 GZO薄膜的制备与特性研究 | 第44-57页 |
| ·溅射气压对GZO薄膜特性的影响 | 第44-47页 |
| ·溅射功率对GZO薄膜特性的影响 | 第47-51页 |
| ·薄膜厚度对GZO薄膜特性的影响 | 第51-55页 |
| ·小结 | 第55-57页 |
| 第五章 复合背电极对太阳能电池特性的影响 | 第57-73页 |
| ·测试方法研究 | 第57-60页 |
| ·两线法与四线法测量单晶硅电池特性 | 第57-58页 |
| ·两线法与四线法对非晶硅电池测量的影响 | 第58-60页 |
| ·具有单层Al背电极的非晶硅电池的特性 | 第60-63页 |
| ·复合背电极中GZO层沉积功率对非晶硅太阳能电池特性影响 | 第63-66页 |
| ·复合背电极GZO层厚度对非晶硅电池性能的影响 | 第66-71页 |
| ·非晶硅太阳能电池的Ⅰ-Ⅴ特性 | 第66-70页 |
| ·非晶硅太阳能电池的量子效率测试 | 第70-71页 |
| ·小结 | 第71-73页 |
| 第六章 结论 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-82页 |
| 致谢 | 第82-84页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第84页 |