亚波长周期介质光栅的偏振特性的研究

摘要	第1-3页
Abstract	第3-6页
第一章 概述	第6-13页
·亚波长介质光栅的应用前景	第6-7页
·国内外研究现状	第7-11页
·本人的研究工作	第11-13页
第二章 FDTD(时域有限差分方法)算法	第13-42页
·三维直角坐标中的FDTD差分方程	第13-21页
·吸收边界条件	第21-35页
·PML介质中的波方程	第22-23页
·平面波在 PML介质中的传播特性	第23-26页
·平面波在 PML/PML介质分界面的传播	第26-30页
·介质层设置	第30-32页
·PML中的指数差分	第32-35页
·数值稳定性及数值色散问题	第35-36页
·数值稳定性	第35-36页
·数值色散	第36页
·激励源	第36-40页
·时谐场振幅和相位的提取	第40-42页
第三章 数值计算及分析	第42-48页
第四章 亚波长周期光栅制作、误差分析及实验	第48-62页
·引言	第48-50页
·电子束光刻	第48-49页
·反应离子束刻蚀	第49-50页
·实验方案和实验步骤	第50-57页
·实验的不足及改进手段	第57-59页
·加工误差分析	第59-60页
·测量实验设计	第60-62页
第五章 总结与展望	第62-64页
参考文献	第64-67页
致谢	第67页