铁氧体基片精密加工工艺研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-8页
第1章 绪论	第8-13页
·课题研究的目的和意义	第8页
·国内外现状及分析	第8-11页
·铁氧体材料简介	第9页
·国内现状	第9-10页
·国外现状	第10-11页
·铁氧体基片加工工艺研究	第11-12页
·课题的主要研究内容	第12-13页
第2章 铁氧体基片高效磨削实验研究	第13-24页
·ELID 磨削技术的基本原理	第13-15页
·ELID 高效深切磨削技术的实验研究	第15-22页
·磨削原理	第15-16页
·实验原理及实验条件	第16页
·磨削力变化规律的分析	第16-20页
·ELID 磨削与普通磨削的磨削力变化规律对比	第20-21页
·不同进给速度下ELID 磨削力与磨削深度的关系	第21-22页
·表面质量分析	第22页
·本章小结	第22-24页
第3章 铁氧体基片研磨技术研究	第24-38页
·研磨机理	第24-25页
·双面研磨机的结构特点和运动分析	第25-27页
·研磨机的结构特点	第25页
·研磨机运动模型的建立	第25-26页
·研磨盘上随机点相对料架的运动轨迹	第26-27页
·料架上随机点相对于研磨盘的运动轨迹	第27页
·研磨过程的运动模拟	第27-31页
·研磨盘上单个点的运动轨迹模拟	第27-28页
·研磨盘上多点的运动轨迹模拟	第28-29页
·研磨盘上一点不同时刻的运动轨迹模拟	第29-30页
·研磨盘上一点相对速度场的模拟	第30-31页
·模拟结果分析	第31页
·研磨效率的实验研究	第31-36页
·实验装置及设备	第31页
·研磨实验及结果分析	第31-35页
·研磨参数对基片表面质量的影响规律	第35-36页
·实验中出现的问题及解决途径	第36页
·本章小结	第36-38页
第4章 铁氧体基片精细研磨技术研究	第38-43页
·基片精细研的正交实验研究	第38-42页
·精细研实验装置和条件	第38页
·精细研实验及结果分析	第38-41页
·基片精细研后的质量	第41-42页
·本章小结	第42-43页
结论	第43-44页
参考文献	第44-47页
哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明	第47页
哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书	第47页
哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理	第47-48页
致谢	第48页