扫描探针显微镜主动隔振研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| CONTENTS | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-25页 |
| ·本课题的研究背景和意义 | 第14-16页 |
| ·主动隔振技术的国内外研究现状 | 第16-18页 |
| ·国外的研究现状 | 第16-17页 |
| ·国内的研究现状 | 第17-18页 |
| ·主动隔振技术的发展及其研究 | 第18-23页 |
| ·主动隔振中传感器的研究 | 第18-19页 |
| ·主动隔振中致动器的研究 | 第19-21页 |
| ·主动隔振中控制器的研究 | 第21-23页 |
| ·现有隔振方法存在的问题及本研究的难点 | 第23-24页 |
| ·课题来源与主要的研究内容 | 第24-25页 |
| ·课题来源 | 第24页 |
| ·主要研究工作 | 第24-25页 |
| 第二章 主动隔振系统的方案与设计制作 | 第25-39页 |
| ·引言 | 第25-26页 |
| ·隔振方案分析 | 第26-33页 |
| ·被动隔振机构的运动方程 | 第26-28页 |
| ·弹簧阻尼系统设计 | 第28-30页 |
| ·涡流耗能阻尼器设计 | 第30-32页 |
| ·主动隔振措施 | 第32-33页 |
| ·主动隔振系统的动力学模型 | 第33-37页 |
| ·加速度反馈 | 第34-35页 |
| ·速度反馈 | 第35-36页 |
| ·位移反馈 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 主动隔振的控制系统设计 | 第39-54页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·磁电式速度传感器的设计 | 第39-44页 |
| ·工作原理 | 第39-40页 |
| ·磁路设计 | 第40-41页 |
| ·线圈设计及计算 | 第41-42页 |
| ·固有频率的确定及弹簧刚度的计算 | 第42页 |
| ·阻尼器设计及阻尼系数的计算 | 第42-44页 |
| ·主动隔振控制系统 | 第44-51页 |
| ·A/D(D/A)转换 | 第44-45页 |
| ·数据采集 | 第45-47页 |
| ·低通滤波 | 第47-48页 |
| ·信号放大 | 第48-49页 |
| ·FFT处理 | 第49-51页 |
| ·电磁式致动器设计 | 第51-52页 |
| ·导磁材料选择 | 第51页 |
| ·磁场计算 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第四章 主动隔振系统的控制策略及其仿真 | 第54-73页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·振动主动控制策略 | 第54-58页 |
| ·PID控制方法 | 第54-56页 |
| ·模糊控制方法 | 第56-58页 |
| ·计算机仿真 | 第58-72页 |
| ·PID仿真 | 第59-66页 |
| ·PID控制仿真结论 | 第66页 |
| ·模糊控制仿真 | 第66-72页 |
| ·模糊控制结论 | 第72页 |
| ·控制算法比较分析 | 第72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 主动隔振系统的实验分析 | 第73-81页 |
| ·引言 | 第73-74页 |
| ·被动隔振的试验系统及其实验分析 | 第74-77页 |
| ·被动隔振的试验系统 | 第74页 |
| ·拉伸测试实验 | 第74-75页 |
| ·冲击响应实验 | 第75-77页 |
| ·振动主动控制试验系统及其实验分析 | 第77-80页 |
| ·传感器测试实验 | 第77-78页 |
| ·致动器测试实验 | 第78页 |
| ·主动控制测试实验 | 第78-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 结论与展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-90页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第90-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 附录 | 第93-94页 |
