脉冲微细电解加工技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| Contents | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-25页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·微细加工技术的种类及发展 | 第15-19页 |
| ·超精密机械微细加工 | 第15页 |
| ·LIGA和LIGA-like技术 | 第15-17页 |
| ·高能束流微细加工技术 | 第17-18页 |
| ·微细电火花技术 | 第18-19页 |
| ·微细电解加工技术国内外现状 | 第19-23页 |
| ·掩膜微细电解加工 | 第19页 |
| ·约束刻蚀剂层方法 | 第19-20页 |
| ·基于扫描探针显微术的微细电解加工技术 | 第20-21页 |
| ·微细电解线切割加工技术 | 第21页 |
| ·脉冲微细电解加工技术 | 第21-23页 |
| ·课题研究概况 | 第23-25页 |
| ·课题来源 | 第23页 |
| ·研究的目的和意义 | 第23-24页 |
| ·研究的内容 | 第24-25页 |
| 第二章 脉冲微细电解加工原理 | 第25-38页 |
| ·电解加工技术原理 | 第25-26页 |
| ·脉冲微细电解加工的特点 | 第26-27页 |
| ·脉冲微细电解加工理论模型 | 第27-32页 |
| ·脉冲微细电解加工电极电位模型 | 第27-30页 |
| ·脉冲微细电解加工电流密度及加工速度模型 | 第30-32页 |
| ·脉冲微细电解加工机理 | 第32-37页 |
| ·脉冲电源参数对微细电解加工的影响 | 第33-36页 |
| ·电解液对微细电解加工的影响 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 纳秒脉冲电源制作 | 第38-46页 |
| ·实验装置 | 第38-39页 |
| ·纳秒脉冲电源制作 | 第39-45页 |
| ·直接功率放大型纳秒脉冲电源 | 第39-44页 |
| ·直流加斩波式纳秒脉冲电源 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 微细电解工具电极制作 | 第46-57页 |
| ·微细电解加工方法 | 第46-47页 |
| ·微细电极制作方法及发展现状 | 第47-50页 |
| ·电火花加工微细电极 | 第48-49页 |
| ·电化学加工微细电极 | 第49-50页 |
| ·电化学腐蚀法制作微细电极 | 第50-55页 |
| ·电化学腐蚀法制作微细电极原理 | 第51-52页 |
| ·解决微细电极倒锥的方法 | 第52-54页 |
| ·电化学腐蚀法制作微细电极电场仿真 | 第54-55页 |
| ·线电极电解加工法制作微细电极 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 脉冲微细电解加工实验研究 | 第57-79页 |
| ·实验研究的评价指标 | 第57-60页 |
| ·加工间隙 | 第57-59页 |
| ·加工速度 | 第59页 |
| ·加工锥度 | 第59-60页 |
| ·电源参数对加工质量的影响 | 第60-64页 |
| ·峰值电压对加工质量的影响 | 第60-62页 |
| ·脉宽对加工质量的影响 | 第62-63页 |
| ·占空比对加工质量的影响 | 第63-64页 |
| ·电解液对加工质量的影响 | 第64-68页 |
| ·单一钝性电解液对加工质量的影响 | 第64-66页 |
| ·复合电解液对加工质量的影响 | 第66-68页 |
| ·电极形状对加工质量的影响 | 第68-72页 |
| ·电极形状对孔加工的影响 | 第68-70页 |
| ·电极形状对槽加工的影响 | 第70-72页 |
| ·微孔加工实验研究 | 第72-76页 |
| ·加工时间对孔锥度的影响 | 第73页 |
| ·螺旋电极对孔锥度的影响 | 第73-74页 |
| ·微孔加工 | 第74-76页 |
| ·微槽加工 | 第76页 |
| ·微结构加工 | 第76-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 结论与展望 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-88页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第88-90页 |
| 致谢 | 第90页 |
