化学机械抛光流场的流体动力学数值模拟及离心力影响分析

摘要	第1-6页
Abstract	第6-9页
第一章 引言	第9-14页
·化学机械抛光工艺介绍及研究进展	第9-13页
·化学机械抛光的发展背景	第9-10页
·化学机械抛光的研究进展	第10-13页
·本文主要研究内容	第13-14页
第二章 化学机械抛光流场的数学模型	第14-21页
·运动方程组及连续性方程的坐标转换	第14-16页
·运动方程组的坐标转换	第14-15页
·连续性方程的坐标转换	第15-16页
·柱坐标形式的润滑方程	第16-17页
·速度边界条件及膜厚方程	第17-21页
·速度边界条件的推导	第17-18页
·润滑方程的无量纲化	第18-19页
·无量纲膜厚方程的推导	第19-21页
第三章 模型方程的数值求解	第21-25页
·二阶中心差分格式	第21-22页
·流场网格剖分	第22-23页
·Chebyshev加速超松弛技术	第23页
·数值结果及参数影响分析	第23-25页
第四章 离心力影响分析	第25-33页
·离心力项影响分析	第25-26页
·带离心力项模型的建立	第26-29页
·带离心力项模型方程的求解	第29-30页
·数值结果及参数影响分析	第30-33页
总结与展望	第33-34页
参考文献	第34-38页
致谢	第38-39页
攻读硕士期间公开发表和接收发表的论文	第39页