| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| ·课题研究背景 | 第10页 |
| ·MEMS微构件的动态测试 | 第10-11页 |
| ·用于MEMS微构件动态特性测试的激励技术方法 | 第11-20页 |
| ·利用外部场能的激励方法 | 第11-15页 |
| ·内部集成激励元件的激励方法 | 第15-17页 |
| ·基于底座的激励方法 | 第17-20页 |
| ·课题来源 | 第20页 |
| ·本文主要研究内容 | 第20-21页 |
| 2 激励装置特性分析的理论基础 | 第21-30页 |
| ·压电晶体暂态效应的分析 | 第21-29页 |
| ·压电晶片机械位移响应 | 第22-24页 |
| ·晶片叠堆与单晶片之间的特性区别 | 第24-26页 |
| ·压电陶瓷晶堆所能激发的频带宽度 | 第26-29页 |
| ·压电陶瓷的谐振频率 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 激励装置及其动态特性测试系统的设计方案 | 第30-35页 |
| ·本章研究内容 | 第30页 |
| ·激励装置的激励方式 | 第30-31页 |
| ·激励装置动态特性测试系统的组成 | 第31页 |
| ·测试系统各主要组成部分的设计方案 | 第31-34页 |
| ·激励装置的机械结构 | 第31-32页 |
| ·激励装置的驱动电源 | 第32-33页 |
| ·激励装置振动信号的检测系统 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 4 激励装置驱动电源的设计 | 第35-42页 |
| ·本章研究内容 | 第35页 |
| ·驱动电源的工作原理 | 第35-40页 |
| ·整流电路 | 第35-36页 |
| ·充电放电控制电路 | 第36-39页 |
| ·逻辑保护电路 | 第39-40页 |
| ·电源输出响应上升时间的测试 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 5 激励装置特性测试系统的设计 | 第42-48页 |
| ·本章研究内容 | 第42页 |
| ·测试系统硬件设计 | 第42-45页 |
| ·激光器 | 第42页 |
| ·激光反射镜 | 第42-43页 |
| ·激光检测电路 | 第43-45页 |
| ·数据采集卡 | 第45页 |
| ·测试系统软件设计 | 第45-47页 |
| ·数据采集模块简介 | 第45-46页 |
| ·数据转换模块 | 第46页 |
| ·数据分析模块 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 6 激励装置动态特性测试与分析 | 第48-62页 |
| ·对不同条件下的压电陶瓷暂态效应分析 | 第49-55页 |
| ·压电陶瓷处于上界面自由条件下的暂态效应分析 | 第49-50页 |
| ·压电陶瓷处于无预紧力条件下的暂态效应分析 | 第50-53页 |
| ·压电陶瓷处于有预紧力条件下的暂态效应分析 | 第53-55页 |
| ·对不同条件下的压电陶瓷的谐振频率分析 | 第55-60页 |
| ·压电陶瓷谐振频率的计算 | 第56页 |
| ·压电陶瓷谐振频率的实验分析 | 第56-60页 |
| ·激励装置谐振频率的实验分析 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 7 基于压电底座激励的微构件动态特性测试实验及特性分析 | 第62-70页 |
| ·本章主要研究内容 | 第62页 |
| ·对MEMS微构件动态特性测试实验及分析 | 第62-69页 |
| ·测试实验中的微构件基本特性 | 第62-63页 |
| ·压阻微梁-质量块的仿真计算 | 第63页 |
| ·微构件动态特性测试实验 | 第63-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 结论 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |