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Si基纳米晶阵列的制备及特性研究

第一章 绪论第1-31页
   ·纳米材料的新效应第12-16页
     ·量子尺寸效应第13-14页
     ·量子相干效应第14-16页
     ·量子霍耳效应第16页
   ·纳米半导体材料第16-20页
     ·纳米半导体材料的特性第17-18页
     ·纳米半导体材料的主要研究内容第18-20页
   ·纳米半导体材料的制备第20-27页
     ·水热法第20页
     ·激光诱导化学汽相沉积第20-21页
     ·激光烧蚀第21页
     ·相分离自组织第21-22页
     ·应变自组织制备量子点第22-23页
     ·分子束外延第23-24页
     ·金属有机化合物化学汽相沉积第24-25页
     ·单原子操纵和加工技术第25-26页
     ·精细加工制备技术第26页
     ·厚膜模板法第26-27页
   ·本论文的指导思想和研究内容第27页
 本章小结第27-28页
 参考文献第28-31页
第二章 多孔阳极氧化铝模板的制备第31-44页
   ·厚膜模板法第31-35页
     ·厚膜模板法概述第31-32页
     ·AAO模板的制备过程第32-35页
   ·影响氧化铝模板制备的三要素第35-39页
     ·氧化电压的影响第35-37页
     ·氧化时间的影响第37-38页
     ·氧化温度的影响第38-39页
     ·其他条件对模板的影响第39页
   ·基于温度的二次氧化第39-41页
     ·传统二次氧化法第40页
     ·基于温度的二次氧化法制备模板的原理第40-41页
     ·基于温度的二次氧化法第41页
 本章小结第41-42页
 参考文献第42-44页
第三章 利用 AAO制备Si纳米晶阵列与表征手段第44-54页
   ·Si 纳米晶阵列的制备第45-48页
     ·AAO模板的制备第45-46页
     ·Si 纳米晶阵列的PECVD制备第46-48页
   ·Si 纳米晶阵列的表征方法第48-51页
     ·透射电子显微镜分析第49页
     ·扫描电子显微镜分析第49页
     ·X射线衍射分析第49-50页
     ·喇曼光谱分析第50页
     ·红外吸收谱分析第50-51页
 本章小结第51页
 参考文献第51-54页
第四章 Si纳米晶阵列的结构与形貌第54-64页
   ·X射线衍射谱分析第54-55页
   ·红外吸收谱研究第55-57页
   ·扫描电子显微镜观察第57-59页
   ·透射电子显微镜观察第59页
   ·Si纳米晶阵列生长机理第59-62页
 本章小结第62页
 参考文献第62-64页
第五章 Si纳米晶阵列的光学、电学性质第64-84页
   ·Si纳米晶阵列发光性质研究第64-72页
     ·半导体材料发光类型及发光机理第64-65页
     ·Si发光面临的问题第65-66页
     ·实现Si发光的两种方案第66-69页
     ·Si纳米晶阵列的光致发光第69-72页
   ·Si纳米晶阵列场发射研究第72-75页
     ·场发射研究现状第72-73页
     ·场发射理论第73-75页
   (一)三种场发射理论第73页
   (二)F-N理论第73-74页
   (三)场发射特性测试第74-75页
   ·Si纳米晶阵列电学性质的研究第75-80页
     ·Si薄膜的直流电导特性第75-78页
     ·薄膜样品电阻率测试中的问题第78-79页
     ·Si纳米晶阵列的电导率测试与分析第79-80页
 本章小结第80-81页
 参考文献第81-84页
第六章 利用 AAO模板制备 Si_(1-x)Ge_x纳米晶阵列及其性质第84-99页
   ·SiGe异质结构材料基本性质第84-88页
     ·晶格常数第84-85页
     ·晶格失配率第85页
     ·应变第85-86页
     ·载流子有效质量第86页
     ·折射率第86-87页
     ·电子迁移率第87-88页
   ·Si_(1-x)Ge_x纳米晶阵列的制备与表征第88-91页
     ·Si_(1-x)Ge_x纳米晶阵列的PECVD制备第88-89页
     ·能量色散谱分析第89-90页
     ·透射电子显微镜观察第90页
     ·X射线衍射分析第90-91页
     ·Raman光谱分析第91页
   ·Si_(1-x)Ge_x纳米晶阵列的光学、电学性质第91-96页
     ·光致发光谱第92-94页
     ·电导率测量第94-96页
 本章小结第96-97页
 参考文献第97-99页
第七章 总结与展望第99-101页
   ·本论文工作的主要结论第99-100页
   ·下一步工作展望第100-101页
博士期间发表文章第101-102页
致谢第102页

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