| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| ·课题研究背景 | 第11-12页 |
| ·金属氧化物半导体气敏材料的研究进展 | 第12-14页 |
| ·金属氧化物半导体的气敏机理研究现状 | 第14-17页 |
| ·本论文研究的目的、意义及主要内容 | 第17-19页 |
| 第2章 气敏材料的合成及气敏元件的制备技术 | 第19-25页 |
| ·实验方案 | 第19-21页 |
| ·纳米TiO_2及其掺金属离子粉体的制备 | 第19-20页 |
| ·纳米SnO_2及其掺金属离子粉末的制备 | 第20页 |
| ·不同Ti/Sn配比的二元纳米TiO_2-SnO_2复合材料 | 第20-21页 |
| ·旁热式气敏元件的制备 | 第21-23页 |
| ·材料结构与性能表征 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 TiO_2、SnO_2及TiO_2-SnO_2复合材料的物性表征 | 第25-37页 |
| ·TiO_2、SnO_2及TiO_2-SnO_2复合材料XRD表征 | 第25-30页 |
| ·纳米TiO_2及其掺金属离子材料的XRD表征 | 第25-26页 |
| ·纳米SnO_2及其掺金属离子材料XRD表征 | 第26-28页 |
| ·纳米SnO_2材料的Raman表征 | 第28页 |
| ·纳米TiO_2-SnO_2复合材料XRD表征 | 第28-30页 |
| ·TiO_2、SnO_2及TiO_2-SnO_2复合材料AFM表征 | 第30-35页 |
| ·纳米TiO_2材料的AFM表征 | 第30-32页 |
| ·纳米SnO_2材料的AFM表征 | 第32-33页 |
| ·纳米TiO_2-SnO_2复合材料AFM表征 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第4章 TiO_2、SnO_2及TiO_2-SnO_2复合材料的气敏研究 | 第37-59页 |
| ·气敏性能的测试原理 | 第37-38页 |
| ·气敏测试主要指标 | 第38-39页 |
| ·TiO_2基气敏性能研究 | 第39-44页 |
| ·电阻-工作温度曲线 | 第39-40页 |
| ·灵敏度-工作温度曲线 | 第40-41页 |
| ·灵敏度-气体浓度曲线 | 第41-42页 |
| ·响应-恢复时间曲线 | 第42-44页 |
| ·SnO_2基气敏性能研究 | 第44-48页 |
| ·工作温度-电阻关系曲线 | 第44-45页 |
| ·灵敏度-工作温度曲线 | 第45-46页 |
| ·灵敏度-气体浓度曲线 | 第46-47页 |
| ·响应-恢复时间曲线 | 第47-48页 |
| ·TiO_2-SnO_2气敏特性研究 | 第48-54页 |
| ·电阻-工作温度曲线 | 第48-49页 |
| ·灵敏度-工作温度曲线 | 第49-51页 |
| ·灵敏度-气体浓度曲线 | 第51-52页 |
| ·响应-恢复时间曲线 | 第52-53页 |
| ·稳定性测试 | 第53-54页 |
| ·TiO_2、SnO_2及TiO_2-SnO_2复合材料的气敏性比较分析 | 第54-57页 |
| ·电阻-工作温度的比较 | 第54-55页 |
| ·灵敏度及敏感温区的比较 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第5章 气敏机理的理论研究 | 第59-71页 |
| ·SnO_2理论计算 | 第59-62页 |
| ·SnO_2能带计算 | 第60-61页 |
| ·SnO_2电子态密度计算 | 第61-62页 |
| ·TiO_2-SnO_2理论计算 | 第62-65页 |
| ·TiO_2-SnO_2电子态密度计算 | 第63-64页 |
| ·TiO_2-SnO_2能带计算 | 第64-65页 |
| ·气体分子轨道能量理论计算 | 第65-68页 |
| ·理论模型的建立及计算方法 | 第66-67页 |
| ·气体分子的前线分子轨道 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-71页 |
| 第6章 结论与展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 硕士期间取得的主要成果 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
