| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 引言 | 第8-10页 |
| 1 氧化锌概述 | 第10-19页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第10-11页 |
| ·ZnO薄膜的制备技术 | 第11-13页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD) | 第11-12页 |
| ·分子束外延(MBE) | 第12页 |
| ·金属有机化学气相沉积(MOCVD) | 第12-13页 |
| ·原子层外延(ALE) | 第13页 |
| ·纳米氧化锌的制备方法 | 第13-14页 |
| ·固相法 | 第13-14页 |
| ·液相法 | 第14页 |
| ·气相法 | 第14页 |
| ·纳米氧化锌的研究进展 | 第14-19页 |
| ·二维纳米结构ZnO薄膜 | 第14-15页 |
| ·ZnO纳米线 | 第15-16页 |
| ·ZnO纳米棒 | 第16-17页 |
| ·ZnO纳米带 | 第17-19页 |
| 2 纳米氧化锌的制备及分析方法 | 第19-26页 |
| ·纳米氧化锌的制备 | 第19-22页 |
| ·脉冲激光沉积技术基本原理及特点 | 第19-21页 |
| ·磁控溅射技术基本原理及特点 | 第21-22页 |
| ·纳米结构的表征 | 第22-26页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第22页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第22-23页 |
| ·光致发光谱(PL) | 第23页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第23-24页 |
| ·X射线能级散射分析(EDAX) | 第24-26页 |
| 3 InP(001)衬底上生长ZnO纳米结构和性能分析 | 第26-37页 |
| ·ZnO纳米结构的制备及分析方法 | 第26-27页 |
| ·ZnO纳米结构的制备方法 | 第26-27页 |
| ·ZnO纳米结构表征 | 第27页 |
| ·生长籽晶层的ZnO纳米结构的表征与光学性能 | 第27-32页 |
| ·ZnO纳米结构表面形貌 | 第27-29页 |
| ·ZnO纳米结构的光致发光特性 | 第29-32页 |
| ·在Au膜上制备的ZnO纳米结构的表征与光学性能 | 第32-36页 |
| ·生长温度对ZnO纳米线的影响 | 第32-33页 |
| ·生长温度对ZnO纳米线结晶性能的影响 | 第33-35页 |
| ·650℃制备的ZnO纳米线的成分分析 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 4 InAs衬底上ZnO纳米管的生长 | 第37-41页 |
| ·ZnO纳米结构的制备及分析方法 | 第37页 |
| ·ZnO纳米结构的制备方法 | 第37页 |
| ·结果与分析 | 第37-39页 |
| ·ZnO纳米管的表面形貌 | 第37-38页 |
| ·ZnO纳米结构表征和光学性能测量 | 第38-39页 |
| ·ZnO纳米管的光学性能测量 | 第39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 5 磁控溅射技术在InP(001)衬底上生长ZnO纳米薄膜 | 第41-47页 |
| ·ZnO纳米薄膜的制备及分析方法 | 第41页 |
| ·ZnO纳米薄膜的制备方法 | 第41页 |
| ·结果与分析 | 第41-46页 |
| ·生长温度对ZnO纳米薄膜的结晶性影响 | 第41-45页 |
| ·ZnO纳米薄膜的光致发光特性 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 结论 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |