| 提要 | 第1-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| 前言 | 第8-9页 |
| ·纳米多层膜概述 | 第9-13页 |
| ·同结构晶体/晶体纳米多层膜 | 第9-11页 |
| ·异结构晶体/晶体纳米多层膜 | 第11-12页 |
| ·异结构晶体/非晶、非晶/非晶纳米多层膜 | 第12-13页 |
| ·多层膜硬化理论 | 第13-17页 |
| ·交变应变场位错运动理论 | 第13-14页 |
| ·位错镜象力理论 | 第14-16页 |
| ·Hall-Petch 强化效应 | 第16-17页 |
| ·界面研究的发展和趋势 | 第17-20页 |
| ·界面研究发展历程 | 第18页 |
| ·界面研究现状 | 第18-19页 |
| ·第一原理研究界面的基本方法 | 第19页 |
| ·界面研究趋势 | 第19-20页 |
| ·论文选题意义和内容 | 第20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第二章 基础理论与计算方法 | 第21-37页 |
| 前言 | 第21页 |
| ·计算机模拟概述 | 第21-22页 |
| ·计算机模拟的发展 | 第21-22页 |
| ·计算机模拟的可行性 | 第22页 |
| ·计算机模拟的意义 | 第22页 |
| ·第一原理计算概述 | 第22-33页 |
| ·第一原理方法 | 第24页 |
| ·全同多粒子体系 | 第24-26页 |
| ·Hartree-Fock 近似 | 第26-29页 |
| ·密度泛函理论（Density Function Theory, DFT） | 第29-33页 |
| ·CASTEP 概述 | 第33-36页 |
| ·CASTEP 简介 | 第33-34页 |
| ·结构优化 | 第34-35页 |
| ·能带结构 | 第35页 |
| ·态密度 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 Ti/TiN 纳米多层膜界面第一原理研究 | 第37-57页 |
| 前言 | 第37-38页 |
| ·模型和计算方法 | 第38-41页 |
| ·模型选取和建构 | 第38-40页 |
| ·计算方法和参数选择 | 第40-41页 |
| ·讨论和结果分析 | 第41-56页 |
| ·体材性质 | 第41-42页 |
| ·表面结构和性质 | 第42-45页 |
| ·界面结构和性质 | 第45-48页 |
| ·电子结构 | 第48-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 TiN/CrN 纳米多层膜界面第一原理研究 | 第57-67页 |
| 前言 | 第57页 |
| ·模型和计算方法 | 第57-59页 |
| ·模型 | 第57-58页 |
| ·模拟方法和参数 | 第58-59页 |
| ·结果与讨论 | 第59-65页 |
| ·体材料结构和性质 | 第59页 |
| ·表面性质 | 第59-61页 |
| ·多层膜界面结构和性质 | 第61-62页 |
| ·电子结构 | 第62-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第五章TiN/SiN_x和NbN/SiN_x纳米多层膜界面第一原理研究 | 第67-80页 |
| 前言 | 第67页 |
| ·计算方法和模型构建 | 第67-69页 |
| ·模拟方法和参数 | 第67页 |
| ·模型构建 | 第67-69页 |
| ·结果与讨论 | 第69-78页 |
| ·体材结构和性质 | 第69-70页 |
| ·表面结构和性质 | 第70-72页 |
| ·界面结构和性质 | 第72-74页 |
| ·电子结构 | 第74-78页 |
| ·本章小结 | 第78-80页 |
| 结论 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-89页 |
| 摘要 | 第89-92页 |
| ABSTRACT | 第92-95页 |
| 致谢 | 第95页 |
