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CIAS薄膜光伏材料的研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第一章 绪论第10-26页
   ·太阳能电池的工作原理及发电方式第11-12页
   ·太阳能电池的发展第12-14页
     ·第一代太阳能电池——单晶硅光伏电池第12-13页
     ·第二代太阳能电池——薄膜型第13-14页
     ·第三代太阳能光伏电池第14页
   ·CIS 类薄膜太阳能电池第14-18页
     ·CIS 晶体结构第15页
     ·CIS 类薄膜的性能第15-17页
     ·CIAS 类太阳能结构和特点第17-18页
   ·CIAS 薄膜的制备方法第18-21页
     ·四源共蒸法第18-19页
     ·硒化/硫化法(Selenization/Sulfurization)第19页
     ·CIA 预制层制备---共蒸发( Co- evaporation)第19-20页
     ·CIA 预制层制备---共溅射( Co- sputtering)第20页
     ·多层膜及多层膜法制备CIA 多层膜第20-21页
   ·CIS 发展历史和研究现状第21-23页
   ·目前存在的问题及发展趋势第23-24页
   ·论文选题第24-26页
第二章 实验过程第26-34页
   ·实验设备第26-30页
     ·真空蒸发镀膜设备第26-27页
     ·镀膜机真空室的结构第27-28页
     ·自制真空硒化退火装置第28-30页
   ·检测设备第30-34页
     ·薄膜厚度的检测第30-31页
     ·薄膜电学性能检测---四探针测试仪第31-32页
     ·薄膜光学性能检测---紫外-可见分光光度计第32页
     ·扫描电镜(SEM)分析第32-33页
     ·能谱仪(INCA)分析第33页
     ·X 射线衍射(XRD)分析第33-34页
第三章 测试结果与分析第34-59页
   ·CIAS 各蒸发元素沉积速率的计算第35-39页
     ·对比称重法和EDS 检测得到的元素比例第35-36页
     ·各元素的沉积速率第36-39页
  本节小结第39页
   ·CIA 预制层与CIAS 薄膜形貌和结构对比分析第39-45页
     ·SEM 与EDS 对比分析第39-42页
     ·XRD 对比分析第42-43页
     ·厚度和电阻率的检测分析第43-44页
  本节小结第44-45页
   ·CIAS 薄膜的不同制备工艺检测分析第45-51页
     ·硒化方法简述第45-46页
     ·硒化退火工艺的影响第46-47页
     ·退火温度的影响第47-48页
     ·退火时间对薄膜结构的影响第48-50页
     ·硒化对多层膜成分的影响第50-51页
  本节小结第51页
   ·铝含量对薄膜性能的影响第51-58页
     ·铝含量对薄膜表面形貌的影响第51-53页
     ·铝含量对薄膜晶体结构的影响第53-54页
     ·Al 含量对薄膜电阻的影响第54-55页
     ·Al 含量对薄膜禁带宽度的影响第55-58页
 本节小结第58-59页
结论第59-61页
参考文献第61-64页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第64-65页
致谢第65-66页

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