| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-26页 |
| ·太阳能电池的工作原理及发电方式 | 第11-12页 |
| ·太阳能电池的发展 | 第12-14页 |
| ·第一代太阳能电池——单晶硅光伏电池 | 第12-13页 |
| ·第二代太阳能电池——薄膜型 | 第13-14页 |
| ·第三代太阳能光伏电池 | 第14页 |
| ·CIS 类薄膜太阳能电池 | 第14-18页 |
| ·CIS 晶体结构 | 第15页 |
| ·CIS 类薄膜的性能 | 第15-17页 |
| ·CIAS 类太阳能结构和特点 | 第17-18页 |
| ·CIAS 薄膜的制备方法 | 第18-21页 |
| ·四源共蒸法 | 第18-19页 |
| ·硒化/硫化法(Selenization/Sulfurization) | 第19页 |
| ·CIA 预制层制备---共蒸发( Co- evaporation) | 第19-20页 |
| ·CIA 预制层制备---共溅射( Co- sputtering) | 第20页 |
| ·多层膜及多层膜法制备CIA 多层膜 | 第20-21页 |
| ·CIS 发展历史和研究现状 | 第21-23页 |
| ·目前存在的问题及发展趋势 | 第23-24页 |
| ·论文选题 | 第24-26页 |
| 第二章 实验过程 | 第26-34页 |
| ·实验设备 | 第26-30页 |
| ·真空蒸发镀膜设备 | 第26-27页 |
| ·镀膜机真空室的结构 | 第27-28页 |
| ·自制真空硒化退火装置 | 第28-30页 |
| ·检测设备 | 第30-34页 |
| ·薄膜厚度的检测 | 第30-31页 |
| ·薄膜电学性能检测---四探针测试仪 | 第31-32页 |
| ·薄膜光学性能检测---紫外-可见分光光度计 | 第32页 |
| ·扫描电镜(SEM)分析 | 第32-33页 |
| ·能谱仪(INCA)分析 | 第33页 |
| ·X 射线衍射(XRD)分析 | 第33-34页 |
| 第三章 测试结果与分析 | 第34-59页 |
| ·CIAS 各蒸发元素沉积速率的计算 | 第35-39页 |
| ·对比称重法和EDS 检测得到的元素比例 | 第35-36页 |
| ·各元素的沉积速率 | 第36-39页 |
| 本节小结 | 第39页 |
| ·CIA 预制层与CIAS 薄膜形貌和结构对比分析 | 第39-45页 |
| ·SEM 与EDS 对比分析 | 第39-42页 |
| ·XRD 对比分析 | 第42-43页 |
| ·厚度和电阻率的检测分析 | 第43-44页 |
| 本节小结 | 第44-45页 |
| ·CIAS 薄膜的不同制备工艺检测分析 | 第45-51页 |
| ·硒化方法简述 | 第45-46页 |
| ·硒化退火工艺的影响 | 第46-47页 |
| ·退火温度的影响 | 第47-48页 |
| ·退火时间对薄膜结构的影响 | 第48-50页 |
| ·硒化对多层膜成分的影响 | 第50-51页 |
| 本节小结 | 第51页 |
| ·铝含量对薄膜性能的影响 | 第51-58页 |
| ·铝含量对薄膜表面形貌的影响 | 第51-53页 |
| ·铝含量对薄膜晶体结构的影响 | 第53-54页 |
| ·Al 含量对薄膜电阻的影响 | 第54-55页 |
| ·Al 含量对薄膜禁带宽度的影响 | 第55-58页 |
| 本节小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
