氮化钛硬质薄膜抗氧化性能研究

摘要	第1-3页
Abstract	第3-9页
第一章 前言	第9-31页
·课题背景	第9-10页
·表面工程技术工艺技术的近代发展	第10-11页
·离子镀	第11-19页
·薄膜技术的发展	第19-27页
·氮化钛研究现状	第27-29页
·研究意义、内容和技术路线	第29-31页
第二章 实验设备及方法	第31-43页
·XH-830热阴极等离子弧磁控离子镀	第31-35页
·实验材料	第35页
·预处理	第35-36页
·实验流程	第36页
·XRD物相检测	第36-37页
·X光电子分析	第37-39页
·表面形貌分析	第39-40页
·显微硬度的检测	第40页
·结合力的测定	第40-43页
第三章 氮化钛薄膜的结构与成分分析	第43-66页
·氮化钛薄膜的形貌观察与分析	第43-48页
·氮化钛薄膜的XRD分析	第48-57页
·氮化钛薄膜的XPS分析	第57-63页
·热力学分析	第63-64页
·晶体学分析	第64-66页
第四章 氮化钛薄膜的主要性能分析	第66-71页
·氮化钛薄膜显微硬度检测及结果分析	第66-67页
·氮化钛薄膜结合力检测及结果分析	第67-71页
结论	第71-72页
参考文献	第72-76页
攻读学位期间发表的学术论文	第76-79页
致谢	第79页