钛酸锶钡系铁电薄膜材料特性及其移相器结构性能仿真研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-27页 |
| ·铁电材料的基本特性 | 第10-13页 |
| ·铁电体的相关理论 | 第13-14页 |
| ·铁电薄膜器件的应用实例 | 第14-19页 |
| ·铁电薄膜的制备方法 | 第19-20页 |
| ·BST薄膜特性优化 | 第20-25页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第25-27页 |
| 2 铁电体的相变理论基础 | 第27-45页 |
| ·朗道理论对于晶格相变的描述 | 第27-29页 |
| ·Devonshire唯像理论在铁电相变中的应用 | 第29-36页 |
| ·铁电相变的微观理论及第一性原理计算 | 第36-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 3 BST系陶瓷的制备及其介温特性研究 | 第45-64页 |
| ·BST系陶瓷的制备及性能表征方法 | 第45-49页 |
| ·BST系陶瓷的微结构测试分析 | 第49-53页 |
| ·BST系铁电陶瓷的电学特性研究 | 第53-59页 |
| ·BST系陶瓷的拉曼光谱分析 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 4 BST薄膜生长及特性研究 | 第64-90页 |
| ·薄膜生长机理分析 | 第64-68页 |
| ·薄膜制备工艺与性能表征 | 第68-73页 |
| ·工艺参数对薄膜特性的影响 | 第73-83页 |
| ·BST薄膜的电学特性的分析 | 第83-88页 |
| ·本章小结 | 第88-90页 |
| 5 铁电移相器的场分析及结构性能仿真 | 第90-115页 |
| ·铁电薄膜移相器结构特点 | 第90-91页 |
| ·CPW的电磁场分析方法 | 第91-103页 |
| ·CPW移相器单元结构的仿真及分析 | 第103-113页 |
| ·本章小结 | 第113-115页 |
| 6 全文总结 | 第115-118页 |
| ·本文结论 | 第115-117页 |
| ·需要进一步研究的问题 | 第117-118页 |
| 致谢 | 第118-119页 |
| 参考文献 | 第119-130页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表及待发表论文 | 第130页 |
