面向绿色切削的等离子体织构化刀具设计制备及其切削性能研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第17-29页 |
| 1.1 课题来源 | 第17页 |
| 1.2 论文的研究背景和意义 | 第17-19页 |
| 1.3 微织构刀具的国内外研究现状 | 第19-26页 |
| 1.3.1 刀具表面的织构化加工技术 | 第19-21页 |
| 1.3.2 微织构刀具的切削性能 | 第21-26页 |
| 1.4 本课题的主要研究内容 | 第26-28页 |
| 1.5 研究框架 | 第28-29页 |
| 第二章 微织构刀具的设计理论研究 | 第29-49页 |
| 2.1 微织构刀具的设计理论 | 第29-33页 |
| 2.2 微织构刀具织构参数的设计方法 | 第33-46页 |
| 2.2.1 微织构刀具织构参数的正交试验设计 | 第33-35页 |
| 2.2.2 微织构刀具的有限元切削仿真正交试验 | 第35-46页 |
| 2.3 微织构刀具织构参数的确定 | 第46-47页 |
| 2.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 第三章 等离子体织构化刀具的制备工艺研究 | 第49-91页 |
| 3.1 等离子体刻蚀加工微织构的技术研究 | 第49-52页 |
| 3.1.1 掩膜层图形转移原理 | 第49-51页 |
| 3.1.2 等离子体刻蚀加工原理 | 第51-52页 |
| 3.2 等离子体织构化刀具的制备工艺 | 第52-74页 |
| 3.2.1 刀具前处理工艺 | 第53-55页 |
| 3.2.2 光刻工艺 | 第55-63页 |
| 3.2.3 薄膜工艺 | 第63-67页 |
| 3.2.4 刻蚀工艺 | 第67-74页 |
| 3.3 等离子体刻蚀微织构的刻蚀工艺参数优化 | 第74-87页 |
| 3.3.1 刻蚀气体流量比对刻蚀加工过程的影响 | 第75-77页 |
| 3.3.2 上电极功率对刻蚀加工过程的影响 | 第77-79页 |
| 3.3.3 下电极功率对刻蚀加工过程的影响 | 第79-82页 |
| 3.3.4 气体压强对刻蚀加工过程的影响 | 第82-84页 |
| 3.3.5 基片温度对刻蚀加工过程的影响 | 第84-87页 |
| 3.4 等离子体织构化刀具的制备 | 第87-88页 |
| 3.5 本章小结 | 第88-91页 |
| 第四章 等离子体织构化刀具的切削性能研究 | 第91-109页 |
| 4.1 切削试验方法 | 第91-92页 |
| 4.2 等离子体织构化刀具的切削性能研究结果 | 第92-106页 |
| 4.2.1 切削力 | 第92-94页 |
| 4.2.2 切削温度 | 第94-96页 |
| 4.2.3 前刀面上的平均摩擦系数 | 第96-97页 |
| 4.2.4 刀具磨损与粘结 | 第97-103页 |
| 4.2.5 已加工表面粗糙度 | 第103-105页 |
| 4.2.6 切屑形态 | 第105-106页 |
| 4.3 本章小结 | 第106-109页 |
| 第五章 总结与展望 | 第109-113页 |
| 5.1 总结 | 第109-111页 |
| 5.2 展望 | 第111-113页 |
| 参考文献 | 第113-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
| 硕士期间科研成果 | 第120页 |
