| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 符号列表 | 第17-19页 |
| 第1章 绪论 | 第19-35页 |
| 1.1 同步辐射光源及光束线站 | 第19-22页 |
| 1.1.1 同步辐射光源 | 第19-21页 |
| 1.1.2 同步辐射光束线 | 第21-22页 |
| 1.2 同步辐射光束线碳污染 | 第22-24页 |
| 1.2.1 同步辐射光束线碳污染概述 | 第22-23页 |
| 1.2.2 同步辐射光束线碳污染的解决方案 | 第23-24页 |
| 1.3 光束线真空系统与真空清洁处理 | 第24-27页 |
| 1.3.1 光束线真空系统 | 第24-25页 |
| 1.3.2 超高真空清洁处理 | 第25-27页 |
| 1.4 低温等离子体 | 第27-33页 |
| 1.4.1 等离子体 | 第27-30页 |
| 1.4.2 等离子体与固体表面的相互作用 | 第30-32页 |
| 1.4.3 低温等离子体的产生与应用 | 第32-33页 |
| 1.5 论文的结构与主要解决的问题 | 第33-34页 |
| 1.6 本章小结 | 第34-35页 |
| 第2章 直流辉光等离子体的数值模拟 | 第35-65页 |
| 2.1 直流辉光等离子体数值模拟概述 | 第35-36页 |
| 2.2 基于流体模型的等离子体的数值模拟及理论基础 | 第36-45页 |
| 2.2.1 控制方程 | 第36-42页 |
| 2.2.2 边界条件 | 第42-43页 |
| 2.2.3 粒子与等离子体化学 | 第43-45页 |
| 2.3 数值模拟模型的建立 | 第45-50页 |
| 2.3.1 模型的构建与简化 | 第45-47页 |
| 2.3.2 主要参数的设置 | 第47页 |
| 2.3.3 网格划分 | 第47-50页 |
| 2.4 数值模拟结果与分析 | 第50-62页 |
| 2.4.1 电子密度空间分布随时间变化 | 第50页 |
| 2.4.2 工作气体比例对辉光放电等离子体特性的影响 | 第50-54页 |
| 2.4.3 电压对辉光放电等离子体特性的影响 | 第54-57页 |
| 2.4.4 气压对辉光放电等离子体特性的影响 | 第57-59页 |
| 2.4.5 电极排布对辉光放电等离子体特性的影响 | 第59-62页 |
| 2.5 本章小结 | 第62-65页 |
| 第3章 同步辐射光束线镜箱直流辉光放电等离子体清洗研究· | 第65-83页 |
| 3.1 直流辉光放电 | 第65-68页 |
| 3.2 同步辐射光束线镜箱辉光放电清洗系统与实验过程 | 第68-73页 |
| 3.2.1 充气与真空系统 | 第68-70页 |
| 3.2.2 直流放电系统 | 第70-71页 |
| 3.2.3 真空测量系统 | 第71-72页 |
| 3.2.4 等离子体清洗的实验过程 | 第72-73页 |
| 3.3 辉光放电清洗的实验结果与分析 | 第73-81页 |
| 3.3.1 直流辉光放电清洗的伏安特性 | 第73-75页 |
| 3.3.2 常温下辉光放电清洗对镜箱内油分子含量的影响 | 第75-78页 |
| 3.3.3 烘烤同时辉光放电清洗对镜箱内油分子含量的影响 | 第78-81页 |
| 3.4 本章小结 | 第81-83页 |
| 第4章 辉光放电等离子体对光学元件和机械零部件表面的影响 | 第83-115页 |
| 4.1 测试方法介绍 | 第83-89页 |
| 4.1.1 原子力显微镜(AFM) | 第83-85页 |
| 4.1.2 X射线光电子能谱仪(XPS) | 第85页 |
| 4.1.3 同步辐射X射线反射(XRR) | 第85-87页 |
| 4.1.4 白光干涉扫描轮廓仪(SWLI) | 第87-88页 |
| 4.1.5 表面轮廓仪 | 第88-89页 |
| 4.1.6 光学显微镜(OM) | 第89页 |
| 4.2 辉光放电清洗对光学元件表面的影响 | 第89-107页 |
| 4.2.1 辉光放电清洗对Au薄膜光学元件表面的影响 | 第90-97页 |
| 4.2.2 辉光放电清洗对Al薄膜光学元件表面的影响 | 第97-103页 |
| 4.2.3 辉光放电清洗对Si片表面的影响 | 第103-107页 |
| 4.3 辉光放电清洗对机械零部件表面的影响 | 第107-113页 |
| 4.3.1 辉光放电清洗对不锈钢零件的影响 | 第107-109页 |
| 4.3.2 辉光放电清洗对铝零件的影响 | 第109-111页 |
| 4.3.3 辉光放电清洗对无氧铜零件的影响 | 第111-113页 |
| 4.4 本章小结 | 第113-115页 |
| 第5章 总结与展望 | 第115-117页 |
| 5.1 论文总结 | 第115页 |
| 5.2 论文创新点 | 第115-116页 |
| 5.3 课题展望 | 第116-117页 |
| 附录 A中国科学院大学学位论文撰写要求 | 第117-119页 |
| 参考文献 | 第119-125页 |
| 附录 | 第125-127页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第127-129页 |
| 致谢 | 第129页 |
