集成爆炸箔起爆器与平面三电极高压开关技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 爆炸箔起爆技术 | 第10-11页 |
| 1.1.2 本文研究意义 | 第11页 |
| 1.2 集成爆炸箔起爆器研究现状 | 第11-15页 |
| 1.3 爆炸箔用平面高压开关研究进展 | 第15-20页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第20-21页 |
| 2 基于MEMS工艺的集成爆炸箔起爆器研究 | 第21-44页 |
| 2.1 MEMS集成爆炸箔起爆器的结构设计 | 第21-26页 |
| 2.1.1 爆炸桥箔的仿真设计 | 第21-23页 |
| 2.1.2 复合飞片理论设计 | 第23-26页 |
| 2.1.3 加速膛结构设计 | 第26页 |
| 2.2 MEMS集成爆炸箔起爆器的制备方法 | 第26-35页 |
| 2.2.1 磁控溅射沉积桥箔 | 第26-28页 |
| 2.2.2 气相沉积复合飞片 | 第28-31页 |
| 2.2.3 原位光刻制备加速膛 | 第31-35页 |
| 2.2.4 集成爆炸箔起爆器封装 | 第35页 |
| 2.3 MEMS集成爆炸箔起爆器的性能表征 | 第35-43页 |
| 2.3.1 桥箔电爆特性 | 第36-37页 |
| 2.3.2 复合飞片速度特征 | 第37-41页 |
| 2.3.3 起爆HNS炸药研究 | 第41-43页 |
| 2.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 3 基于LTCC工艺的集成爆炸箔起爆器研究 | 第44-56页 |
| 3.1 低温共烧陶瓷技术 | 第44-45页 |
| 3.2 LTCC集成爆炸箔起爆器设计 | 第45-47页 |
| 3.2.1 结构设计 | 第45-46页 |
| 3.2.2 工艺设计 | 第46-47页 |
| 3.3 LTCC集成爆炸箔起爆器制备方法 | 第47-49页 |
| 3.4 LTCC集成爆炸箔起爆器性能表征 | 第49-55页 |
| 3.4.1 桥箔电爆特性 | 第49-51页 |
| 3.4.2 陶瓷飞片速度特征 | 第51-54页 |
| 3.4.3 起爆HNS炸药研究 | 第54-55页 |
| 3.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 4 平面三电极高压开关的设计与性能研究 | 第56-69页 |
| 4.1 平面三电极开关高压的设计与制备 | 第56-59页 |
| 4.1.1 开关作用原理 | 第56-57页 |
| 4.1.2 开关结构设计 | 第57-58页 |
| 4.1.3 开关制备方法 | 第58-59页 |
| 4.2 平面三电极高压开关性能研究 | 第59-66页 |
| 4.2.1 静态自击穿电压 | 第59-61页 |
| 4.2.2 开关延迟时间 | 第61-63页 |
| 4.2.3 开关固有电感与电阻 | 第63-66页 |
| 4.3 三种开关性能参数对比 | 第66-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 5 总结与展望 | 第69-71页 |
| 5.1 全文结论 | 第69-70页 |
| 5.2 创新点 | 第70页 |
| 5.3 工作展望 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 附录 | 第75页 |
