微型射频等离子体阴极中和器的设计与试验研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 中和器类型简介 | 第11-14页 |
| 1.2 中和器研究的发展与现状 | 第14-17页 |
| 1.2.1 国外研究进展 | 第14-16页 |
| 1.2.2 国内研究进展 | 第16-17页 |
| 1.3 各类型中和器的优缺点 | 第17页 |
| 1.4 研究背景与意义 | 第17-18页 |
| 1.5 本文主要工作 | 第18-19页 |
| 第2章 微型射频等离子体阴极中和器的基本概念 | 第19-35页 |
| 2.1 等离子体简单介绍 | 第19-20页 |
| 2.1.1 等离子体定义 | 第19-20页 |
| 2.1.2 等离子体分类 | 第20页 |
| 2.1.3 等离子体的主要应用 | 第20页 |
| 2.2 等离子体基本方程 | 第20-28页 |
| 2.2.1 麦克斯韦方程组 | 第20-21页 |
| 2.2.2 单粒子运动方程 | 第21-22页 |
| 2.2.3 粒子能量和速度方程 | 第22-23页 |
| 2.2.4 流体方程 | 第23-26页 |
| 2.2.4.1 能量守恒 | 第23-24页 |
| 2.2.4.2 粒子数守恒 | 第24页 |
| 2.2.4.3 等离子体振荡 | 第24-26页 |
| 2.2.5 碰撞方程 | 第26-28页 |
| 2.2.5.1 弹性和非弹性碰撞 | 第26页 |
| 2.2.5.2 碰撞参数 | 第26-28页 |
| 2.3 等离子体鞘层 | 第28-31页 |
| 2.3.1 德拜屏蔽 | 第28-29页 |
| 2.3.2 预鞘层和玻姆鞘层判据 | 第29-31页 |
| 2.4 射频简介 | 第31-33页 |
| 2.4.1 射频功率耦合方式 | 第32-33页 |
| 2.4.2 射频放电形式 | 第33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-35页 |
| 第3章 射频中和器工程设计 | 第35-54页 |
| 3.1 工作原理 | 第35-36页 |
| 3.2 基本结构设计 | 第36-43页 |
| 3.2.1 气嘴设计 | 第37-38页 |
| 3.2.2 后固定板 | 第38页 |
| 3.2.3 放电室 | 第38-40页 |
| 3.2.4 感应线圈 | 第40-41页 |
| 3.2.5 屏蔽外壳 | 第41-43页 |
| 3.3 推进剂 | 第43-44页 |
| 3.4 气路设计 | 第44-46页 |
| 3.4.1 气体流量控制系统 | 第45页 |
| 3.4.2 真空抽气系统 | 第45-46页 |
| 3.5 匹配网络的设计 | 第46-53页 |
| 3.5.1 反射系数和驻波比 | 第46-48页 |
| 3.5.2 匹配网络 | 第48-53页 |
| 3.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 初步点火试验 | 第54-66页 |
| 4.1 中和器组装 | 第54-55页 |
| 4.2 主要试验设备简介 | 第55-58页 |
| 4.2.1 射频源 | 第55-57页 |
| 4.2.2 启动钨丝 | 第57-58页 |
| 4.3 中和器的初步点火试验 | 第58-62页 |
| 4.3.1 操作步骤 | 第58-59页 |
| 4.3.2 初步点火试验 | 第59-61页 |
| 4.3.3 试验现象及问题分析 | 第61-62页 |
| 4.4 中和器的优化设计与点火试验 | 第62-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第5章 结论与展望 | 第66-68页 |
| 5.1 全文总结 | 第66页 |
| 5.2 研究展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
