用于薄膜硅电池的周期纳米结构的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.3 本论文的主要内容 | 第14-16页 |
| 第二章 数值分析方法 | 第16-24页 |
| 2.1 严密耦合波分析法 | 第16-18页 |
| 2.2 TE偏振的平面衍射 | 第18-21页 |
| 2.3 TM偏振的平面衍射 | 第21-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 周期倒楔形体的设计 | 第24-38页 |
| 3.1 周期倒楔形体结构的提出 | 第24-26页 |
| 3.2 优化仿真方法 | 第26-27页 |
| 3.3 仿真参数的设定 | 第27-29页 |
| 3.4 优化结果与分析 | 第29-35页 |
| 3.5 倾斜的周期性倒楔形体初探 | 第35-36页 |
| 3.6 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 FSPN结构的设计 | 第38-61页 |
| 4.1 FSPN结构的提出 | 第38-39页 |
| 4.2 一维FSPN结构的优化 | 第39-51页 |
| 4.2.1 一维FSPN结构的构造 | 第39-40页 |
| 4.2.2 一维FSPN结构优化程序实现 | 第40-42页 |
| 4.2.3 一维FSPN结构优化模型与参数设置 | 第42-43页 |
| 4.2.4 一维FSPN结构优化结果与分析 | 第43-51页 |
| 4.3 二维FSPN结构的优化 | 第51-59页 |
| 4.3.1 二维FSPN结构优化程序实现 | 第51-53页 |
| 4.3.2 二维FSPN结构优化模型与参数设置 | 第53-54页 |
| 4.3.3 二维FSPN结构优化结果与分析 | 第54-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 激光干涉光刻制备陷光结构 | 第61-79页 |
| 5.1 激光干涉光刻原理 | 第61-63页 |
| 5.2 激光干涉平台介绍与搭建 | 第63-66页 |
| 5.2.1 劳埃德镜激光干涉仪 | 第64-65页 |
| 5.2.2 马赫-曾德激光干涉仪 | 第65-66页 |
| 5.3 激光干涉光刻流程 | 第66-70页 |
| 5.4 湿法刻蚀原理 | 第70-71页 |
| 5.5 周期性倒楔形体的制备 | 第71-78页 |
| 5.5.1 实验原理 | 第71-73页 |
| 5.5.2 实验工艺优化 | 第73-76页 |
| 5.5.3 实验结果与分析 | 第76-78页 |
| 5.6 本章小结 | 第78-79页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第79-81页 |
| 6.1 全文总结 | 第79页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第86页 |
