基于二维精密工作台的平面度测量仪设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 本课题的研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状分析 | 第11-14页 |
| 1.2.1 平面度测量方法的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 平面度误差评定的研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 平面度测量仪的总体设计 | 第16-25页 |
| 2.1 仪器设计方案 | 第16页 |
| 2.2 测量布点的设计 | 第16-18页 |
| 2.3 二维位移工作台的设计 | 第18-19页 |
| 2.4 平面度测量仪计量装置 | 第19-24页 |
| 2.4.1 检测系统 | 第19-21页 |
| 2.4.2 检测装置原理 | 第21-22页 |
| 2.4.3 检测信号处理 | 第22-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 平面度测量专用传感器设计 | 第25-34页 |
| 3.1 电感式传感器总体设计方案 | 第25-27页 |
| 3.2 传感器测量电路设计 | 第27-29页 |
| 3.3 电感式传感器的非线性补偿 | 第29-30页 |
| 3.4 传感器标定实验 | 第30-32页 |
| 3.5 传感器零位与增益误差补偿 | 第32-33页 |
| 3.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 平面度测量仪信号接口实现 | 第34-45页 |
| 4.1 采集卡选择与性能指标 | 第34-37页 |
| 4.2 工作台伺服驱动接口电路 | 第37-40页 |
| 4.2.1 伺服主电路设计 | 第37-38页 |
| 4.2.2 数据传输电路设计 | 第38-40页 |
| 4.3 测量仪接口测试 | 第40-44页 |
| 4.3.1 采集卡模拟通道测试 | 第40-43页 |
| 4.3.2 伺服放大器 I/O 测试 | 第43-44页 |
| 4.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第5章 二维精密位移工作台控制研究 | 第45-54页 |
| 5.1 驱动工作台 | 第45页 |
| 5.2 伺服工作台控制系统研究 | 第45-53页 |
| 5.2.1 工作台传动机构模型 | 第46-48页 |
| 5.2.2 仿真分析位置跟踪 | 第48-50页 |
| 5.2.3 带摩擦前馈补偿模型的 PID 控制 | 第50-53页 |
| 5.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 第6章 平面度评定方法分析 | 第54-63页 |
| 6.1 平面度测量误差方法 | 第54-59页 |
| 6.1.1 三远点法 | 第54-55页 |
| 6.1.2 对角线法 | 第55-56页 |
| 6.1.3 最小区域法 | 第56-57页 |
| 6.1.4 最小二乘法 | 第57-59页 |
| 6.2 基于回归分析原理的最小二乘法 | 第59-61页 |
| 6.3 分析与实验 | 第61-63页 |
| 第7章 数据库与应用软件设计 | 第63-80页 |
| 7.0 应用软件主界面设计 | 第63-64页 |
| 7.1 C++ Builder 数据库的设计 | 第64-71页 |
| 7.1.1 数据库访问与结构 | 第64-65页 |
| 7.1.2 数据库构建 | 第65-69页 |
| 7.1.3 数据库存取 | 第69-71页 |
| 7.2 基于 CB 语言环境的数据采集实现 | 第71-72页 |
| 7.3 OpenGL 三维平面模型重构 | 第72-78页 |
| 7.3.1 OpenGL 编程环境的准备 | 第72-73页 |
| 7.3.2 平面度三维重构的实现 | 第73-78页 |
| 7.4 仪器精度检测 | 第78-79页 |
| 7.5 本章小结 | 第79-80页 |
| 第8章 全文总结与展望 | 第80-82页 |
| 8.1 全文总结 | 第80-81页 |
| 8.2 展望 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-86页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第86-87页 |
| 附录 2 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第87-88页 |
| 详细摘要 | 第88-92页 |
