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电子散斑微变形、面形测量的相关技术研究

中文摘要第1-7页
ABSTRACT第7-9页
第一章 绪论第9-15页
   ·激光散斑现象第9-12页
     ·激光散斑的形成及分类第9-10页
     ·激光散斑场的产生方法第10-12页
   ·激光散斑测量技术的起源与发展第12-13页
   ·电子散斑干涉术的应用及发展第13-14页
     ·电子散斑干涉术的应用第13页
     ·电子散斑干涉术的发展第13-14页
   ·本论文的主要工作第14-15页
第二章 电子散斑干涉场载频调制与解调技术第15-25页
   ·偏转物体法电子散斑干涉场空间调制原理第15-18页
   ·傅里叶变换法解调第18-20页
   ·频谱分离第20-23页
     ·频谱分离条件第20-22页
     ·频谱分离对偏转角度的要求第22-23页
   ·小结第23-25页
第三章 电子散斑干涉载频调制形貌测量技术第25-31页
   ·物体面形的傅里叶变换载波调制原理第25-26页
   ·傅里叶变换法解调第26页
   ·典型实验第26-29页
     ·实验系统第26-27页
     ·步进电机及驱动控制第27页
     ·实验测量第27-29页
   ·结论第29-31页
第四章 电子散斑干涉载频调制形貌测量方法的分析第31-37页
   ·基于电子散斑干涉载频调制的物体变形与形貌之间的关系第31-33页
   ·基于傅里叶变换的散斑形貌测量方法的讨论第33-36页
     ·典型的电子散斑干涉系统第33-34页
     ·迈克尔逊电子散斑干涉系统第34页
     ·双光束电子散斑干涉系统第34-35页
     ·实验验证第35-36页
   ·小结第36-37页
第五章 基于新型方棱镜的大剪切电子散斑干涉术的研究第37-55页
   ·大剪切电子散斑干涉术的基本原理第37-38页
   ·新型大剪切棱镜的制作原理第38-41页
   ·基于新型大剪切棱镜的典型实验研究第41-50页
     ·基于新型大剪切棱镜的电子散斑干涉系统第41-48页
       ·基于新型大剪切棱镜的四步相移电子散斑干涉法第41-46页
       ·基于新型大剪切棱镜的载频调制电子散斑干涉法第46-48页
     ·基于新型大剪切棱镜的载频调制形貌测量系统第48-50页
   ·高噪声散斑条纹图像滤波技术第50-53页
     ·散斑干涉常用的滤波方法第50-51页
     ·滤波结果分析与讨论第51-53页
   ·结论第53-55页
参考文献第55-61页
攻读硕士学位期间发表的论文第61-63页
致谢第63页

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