| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 符号表 | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 气体传感器的概述 | 第11-15页 |
| 1.1.1 半导体气体传感器的分类 | 第12-13页 |
| 1.1.2 半导体传感器的气敏机理 | 第13-14页 |
| 1.1.3 气敏传感器主要参数简介 | 第14-15页 |
| 1.2 影响传感器性能的因素 | 第15-16页 |
| 1.3 LaFeO_3气敏传感器的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.4 课题选取及其研究意义 | 第17-19页 |
| 第二章 气敏元件的制备与测试 | 第19-29页 |
| 2.1 LaFeO_3纳米粉体的制备 | 第19-20页 |
| 2.2 实验药品和设备 | 第20-22页 |
| 2.2.1 实验药品 | 第20-21页 |
| 2.2.2 实验仪器 | 第21-22页 |
| 2.3 气敏元件的制备 | 第22-23页 |
| 2.4 表征手段 | 第23-26页 |
| 2.4.1 X射线衍射仪(XRD) | 第23-24页 |
| 2.4.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第24-25页 |
| 2.4.3 透射电子显微镜(TEM) | 第25-26页 |
| 2.5 气敏元件的测试 | 第26-27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 Cu掺杂对LaFeO_3乙醇气敏特性的影响 | 第29-33页 |
| 3.1 Cu掺杂LaFeO_3纳米材料的制备 | 第29页 |
| 3.2 Cu掺杂LaFeO_3导电性及气敏性能 | 第29-32页 |
| 3.3 本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 Ag掺杂对LaFeO_3乙醇气敏特性的影响 | 第33-39页 |
| 4.1 Ag掺杂LaFeO_3纳米材料的制备 | 第33页 |
| 4.2 Ag掺杂LaFeO_3纳米颗粒的形貌分析 | 第33-34页 |
| 4.3 Ag掺杂LaFeO_3导电性及气敏性能 | 第34-37页 |
| 4.4 本章小结 | 第37-39页 |
| 第五章 Au掺杂对LaFeO_3乙醇气敏特性的影响 | 第39-47页 |
| 5.1 Au掺杂LaFeO_3纳米材料的制备 | 第39页 |
| 5.2 Au掺杂LaFeO_3纳米材料的结构分析 | 第39-41页 |
| 5.3 Au掺杂LaFeO_3导电性及气敏特性 | 第41-45页 |
| 5.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 第六章 膜厚对LaFeO_3乙醇气敏特性的影响 | 第47-57页 |
| 6.1 LaFeO_3微米级厚膜的制备 | 第47-48页 |
| 6.2 LaFeO_3纳米材料的结构分析 | 第48-50页 |
| 6.3 膜厚对LaFeO_3电学特性的影响 | 第50-51页 |
| 6.4 膜厚对LaFeO_3气敏特性的影响 | 第51-55页 |
| 6.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 第七章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 7.1 全文总结 | 第57-58页 |
| 7.2 展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文目录 | 第69页 |
