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ZnO/金刚石双层结构及场发射性质研究

摘要第3-5页
ABSTRACT第5-7页
第一章 绪论第11-25页
    引言第11页
    1.1 金刚石的基本性质及应用第11-15页
        1.1.1 金刚石的晶体结构第12-13页
        1.1.2 金刚石的性质第13-14页
        1.1.3 金刚石膜的制备方法第14页
        1.1.4 金刚石掺杂第14-15页
    1.2 ZnO的基本性质、制备及应用第15-18页
        1.2.1 ZnO的晶体结构第15页
        1.2.2 ZnO纳米材料的制备方法第15-17页
        1.2.3 ZnO纳米材料的应用第17-18页
    1.3 ZnO/金刚石复合结构第18-19页
    1.4 场发射第19-23页
        1.4.1 场发射理论第19-20页
        1.4.2 场发射方程-Fowler-Nordheim理论第20-21页
        1.4.3 影响场发射的因素第21页
        1.4.4 冷阴极场发射材料第21-23页
    1.5 问题的提出及本文的主要研究内容第23-25页
第二章 实验设备和表征方法第25-29页
    2.1 微波等离子化学气相沉积(MPCVD)装置第25页
    2.2 真空管式高温烧结炉设备第25-26页
    2.3 反应釜第26-27页
    2.4 表征方法第27-29页
        2.4.1 场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)第27页
        2.4.2 掠入射X射线衍射(GXRD)第27-28页
        2.4.3 拉曼光谱(Raman)第28页
        2.4.4 光致发光光谱(PL)第28页
        2.4.5 场发射性能测试(EFE)第28-29页
第三章 ZnO纳米棒/自支撑金刚石膜的制备及场发射性能的研究第29-47页
    3.1 实验过程第30-31页
        3.1.1 自支撑金刚石基底的制备第30页
        3.1.2 在基底上制备ZnO籽晶层第30-31页
        3.1.3 制备ZnO纳米棒第31页
    3.2 结构、成分及形貌分析第31-42页
        3.2.1 SEM图分析第31-35页
        3.2.2 GXRD图谱分析第35-38页
        3.2.3 Raman图谱分析第38-39页
        3.2.4 PL光谱分析第39-42页
    3.3 场发射性能表征第42-45页
    3.4 本章小结第45-47页
第四章 ZnO纳米棒/纳米金刚石制备及场发射性能的研究第47-57页
    4.1 实验过程第47-49页
        4.1.1 纳米金刚石基底的制备第47-48页
        4.1.2 ZnO籽晶层的制备第48页
        4.1.3 ZnO纳米棒的制备第48-49页
    4.2 结构、成分及形貌分析第49-53页
        4.2.1 SEM图谱分析第49-50页
        4.2.2 GXRD图谱分析第50-51页
        4.2.3 Raman图谱分析第51-52页
        4.2.4 PL图谱分析第52-53页
    4.3 场发射表征第53-55页
    4.4 本章小结第55-57页
第五章 硼掺杂ZnO薄片/纳米金刚石制备及场发射性能的研究第57-65页
    5.1 实验过程第57-58页
        5.1.1 ZnO籽晶层的制备第57页
        5.1.2 ZnO纳米薄片的制备第57-58页
    5.2 结构、成分及形貌分析第58-62页
        5.2.1 SEM图谱分析第58-60页
        5.2.2 GXRD图谱分析第60页
        5.2.3 Raman图谱分析第60-61页
        5.2.4 PL图谱分析第61-62页
    5.3 场发射性能分析第62-64页
    5.4 本章小结第64-65页
第六章 结论第65-67页
参考文献第67-75页
硕士期间发表的论文第75-77页
致谢第77页

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