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多晶硅冶金再生过程中碳化硅/氮化硅杂质的分离研究

摘要第4-6页
ABSTRACT第6-7页
主要符号表第22-24页
1 绪论第24-45页
    1.1 光伏产业的发展及对晶体硅材料的需求第25-27页
        1.1.1 光伏产业的发展历程第25-26页
        1.1.2 光伏产业对晶体硅材料的需求第26-27页
    1.2 太阳能电池用硅材料的缺陷、杂质种类及纯度要求第27-29页
        1.2.1 太阳能级硅中的杂质及缺陷第27-28页
        1.2.2 太阳能级硅的纯度要求第28-29页
    1.3 晶硅电池制造过程中SiC/Si_3N_4的来源及危害第29-40页
        1.3.1 晶硅电池制造过程第29-32页
        1.3.2 晶硅铸锭中SiC/Si_3N_4夹杂物的来源第32-37页
        1.3.3 硅中SiC/Si_3N_4对材料性能的影响第37-40页
    1.4 分离硅中SiC/Si_3N_4实现硅材料再生的意义第40-41页
    1.5 硅材料与SiC/Si_3N_4的分离回收技术现状第41-43页
    1.6 本论文的研究目标及内容第43-45页
2 定向凝固环境下SiC/Si_3N_4在硅熔体中的形成及迁移规律第45-63页
    2.1 引言第45页
    2.2 定向凝固炉中的传热与传质第45-47页
    2.3 C/N元素在定向凝固场下的分凝及过饱和析出第47-55页
        2.3.1 C/N元素在定向凝固场中的分凝行为第47-49页
        2.3.2 C/N在定向凝固时的过饱和析出第49-54页
        2.3.3 定向凝固场下硅熔体中C/N的相互作用第54-55页
    2.4 定向凝固时C/N元素及析出颗粒相的迁移规律及含量控制第55-61页
        2.4.1 C/N元素的分布规律及含量控制第55-56页
        2.4.2 SiC/Si_3N_4颗粒的运动行为第56-57页
        2.4.3 硅尾料中SiC/Si_3N_4颗粒形态分析第57-61页
    2.5 本章小结第61-63页
3 电磁感应场对硅中SiC/Si_3N_4的诱导分离作用研究第63-103页
    3.1 引言第63-64页
    3.2 电磁感应对熔融硅中非金属夹杂去除作用的理论基础第64-67页
    3.3 实验第67-71页
        3.3.1 实验原料和设备第67-68页
        3.3.2 实验方法第68-69页
        3.3.3 分析设备和分析方法第69-71页
    3.4 熔体流动对硅中SiC颗粒的定向迁移作用规律第71-85页
        3.4.1 SiC颗粒宏观富集区的形成及分布规律第74-76页
        3.4.2 集肤效应对熔体侧边缘SiC富集层形成的作用规律第76-82页
        3.4.3 电磁感应对SiC颗粒的合并生长作用第82-84页
        3.4.4 电磁感应熔炼对SiC颗粒的分离效率第84-85页
    3.5 线圈电流对SiC迁移的作用规律第85-97页
        3.5.1 SiC颗粒宏观富集区的形成及分布规律第87页
        3.5.2 集肤效应对熔体侧边缘SiC富集层形成的作用规律第87-91页
        3.5.3 线圈电流对SiC颗粒的合并生长作用第91页
        3.5.4 SiC颗粒的分离效率第91-92页
        3.5.5 电磁感应场对SiC/Si_3N_4混合颗粒体系的分离作用第92-97页
    3.6 电磁感应熔炼再生多晶硅尾料的工业应用研究第97-101页
        3.6.1 实验设备及方法第97-99页
        3.6.2 颗粒分离效果分析第99-101页
    3.7 本章小结第101-103页
4 Al元素添加对硅中SiC的分离作用研究第103-138页
    4.1 引言第103页
    4.2 Al对SiC去除作用的理论基础第103-104页
    4.3 实验第104-106页
        4.3.1 实验原料和设备第104-105页
        4.3.2 实验方法第105-106页
        4.3.3 分析设备和分析方法第106页
    4.4 Al元素添加对SiC去除的作用规律第106-120页
        4.4.1 SiC宏观富集区域的分布规律第106-109页
        4.4.2 Al-Si合金区域的元素分布规律第109-113页
        4.4.3 Al/SiC结合区域颗粒相的分布与分解第113-120页
    4.5 温度与Al对SiC颗粒吸除作用的关系第120-126页
        4.5.1 SiC宏观富集区域的分布规律第120-121页
        4.5.2 Al-Si合金区域的元素分布规律第121-124页
        4.5.3 Al/SiC结合区域颗粒相的分布与分解第124-126页
    4.6 Al元素添加与电磁感应场耦合对SiC的分离作用探究第126-136页
        4.6.1 SiC宏观富集区域的分布规律第126-131页
        4.6.2 SiC颗粒的底部沉降及侧边富集层的形成第131-134页
        4.6.3 SiC颗粒的分离效率第134-136页
    4.7 本章小结第136-138页
5 电子束熔炼对硅中SiC/Si_3N_4的分离作用研究第138-170页
    5.1 引言第138-140页
    5.2 实验第140-144页
        5.2.1 实验原料和设备第140-141页
        5.2.2 实验方法及过程第141-143页
        5.2.3 分析方法和分析设备第143-144页
    5.3 熔炼过程对颗粒相分布的作用规律第144-154页
        5.3.1 SiC颗粒的形核及与Si_3N_4颗粒的两相相互作用第144-149页
        5.3.2 SiC/Si_3N_4颗粒在硅熔体中的分布规律第149-151页
        5.3.3 熔炼过程中O对C迁移的作用第151-154页
    5.4 凝固过程对颗粒相分布的作用规律第154-166页
        5.4.1 SiC颗粒的形核及与Si_3N_4颗粒的两相相互作用第155-158页
        5.4.2 SiC/Si_3N_4颗粒在硅熔体中的分布规律第158-163页
        5.4.3 间隙O对游离C和N迁移的作用规律第163-166页
    5.5 电子束熔炼再生多晶硅尾料的工业应用研究第166-169页
        5.5.1 实验方法第166-167页
        5.5.2 颗粒分离效果分析第167-169页
    5.6 本章小结第169-170页
6 结论与展望第170-174页
    6.1 结论第170-172页
    6.2 创新点第172页
    6.3 展望第172-174页
参考文献第174-181页
攻读博士学位期间科研项目及科研成果第181-183页
致谢第183-185页
作者简介第185页

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