| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 研究背景与研究意义 | 第9-13页 |
| 1.1.1 多重入制造系统简介 | 第9-10页 |
| 1.1.2 半导体制造系统简介 | 第10-11页 |
| 1.1.3 Mini-Fab 模型介绍 | 第11-12页 |
| 1.1.4 研究意义 | 第12-13页 |
| 1.2 多重入制造系统建模方法回顾 | 第13-16页 |
| 1.2.1 离散事件仿真 | 第14页 |
| 1.2.2 排队网络模型 | 第14-15页 |
| 1.2.3 流体模型 | 第15-16页 |
| 1.3 制造系统连续模型 | 第16-21页 |
| 1.3.1 连续模型基本思想 | 第17-20页 |
| 1.3.2 连续模型研究现状 | 第20-21页 |
| 1.3.3 连续模型的优点 | 第21页 |
| 1.4 本文主要研究问题及研究方法 | 第21-23页 |
| 第二章 多重入制造基本连续模型 | 第23-32页 |
| 2.1 一些主要多重入制造系统连续模型 | 第23-25页 |
| 2.2 模型的求解 | 第25-30页 |
| 2.2.1 有限差分法 | 第25-28页 |
| 2.2.2 基本模型求解算法 | 第28-30页 |
| 2.3 基于 Mini-fab 的基本连续模型数值实例 | 第30-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 多重入制造系统连续模型修正 | 第32-44页 |
| 3.1 ExtendSim 仿真软件简介 | 第32页 |
| 3.2 基本连续模型对 Mini-fab 的不适用性 | 第32-33页 |
| 3.3 重入因子及模型修正 | 第33-36页 |
| 3.4 修正模型的有效性 | 第36页 |
| 3.5 模型分析 | 第36-43页 |
| 3.5.1 在制品库存及密度分布情况分析 | 第37-38页 |
| 3.5.2 稳态结果分析 | 第38-40页 |
| 3.5.3 投料速率的变化对结果的影响 | 第40-43页 |
| 3.6 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 连续模型控制问题 | 第44-61页 |
| 4.1 控制问题的提出 | 第44-45页 |
| 4.2 模型求解 | 第45-53页 |
| 4.2.1 伴随方法梯度值?C_λ | 第46-50页 |
| 4.2.2 非线性共轭梯度法 | 第50-52页 |
| 4.2.3 非线性共轭梯度法求最佳投料速率分布 | 第52-53页 |
| 4.3 数值实例分析 | 第53-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 面向多产品的多重入制造系统连续模型 | 第61-69页 |
| 5.1 多产品模型的提出 | 第61-62页 |
| 5.2 多产品模型求解 | 第62-63页 |
| 5.3 多产品模型有效性 | 第63-66页 |
| 5.4 多产品模型分析 | 第66-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 结论与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 主要结论 | 第69-70页 |
| 6.2 研究展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 附录1:单产品 Mini-Fab 系统的 ExtendSim 仿真模型 | 第74-77页 |
| 附录2:多产品 Mini-Fab 系统的 ExtendSim 仿真模型 | 第77-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 攻读硕士学位期间已发表学位论文 | 第82-85页 |
| 上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第85页 |
