摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5-6页 |
第一章 绪论 | 第9-17页 |
1.1 引言 | 第9页 |
1.2 间歇过程概述 | 第9-10页 |
1.3 统计过程控制的发展历史和应用现状 | 第10-12页 |
1.4 统计过程控制的研究展望 | 第12页 |
1.5 统计过程控制的相关概念 | 第12-13页 |
1.5.1 相关概念 | 第12-13页 |
1.5.2 数据的收集和整理 | 第13页 |
1.6 太阳能电池概述 | 第13-16页 |
1.6.1 太阳能电池的分类 | 第14页 |
1.6.2 单晶硅太阳能电池的工作原理 | 第14-16页 |
1.7 本文主要内容 | 第16-17页 |
第二章 单变量统计过程控制 | 第17-22页 |
2.1 概述 | 第17页 |
2.2 控制图原理 | 第17-19页 |
2.2.1 两类波动 | 第17-18页 |
2.2.2 两类错误和3~σ方式 | 第18-19页 |
2.3 控制图的分类及应用 | 第19-21页 |
2.3.1 控制图的种类 | 第19-20页 |
2.3.2 控制图的应用步骤 | 第20-21页 |
2.4 单变量统计过程控制的局限性 | 第21-22页 |
第三章 多变量统计过程控制 | 第22-34页 |
3.1 多变量统计过程控制的监控技术 | 第22-30页 |
3.1.1 主成分分析 | 第22-27页 |
3.1.2 主成分回归 | 第27-28页 |
3.1.3 偏最小二乘回归 | 第28-30页 |
3.2 多变量统计过程控制图 | 第30-34页 |
3.2.1 平方预测误差图 | 第30-31页 |
3.2.2 Hotelling T~2控制图 | 第31-32页 |
3.2.3 D-To-Model控制图 | 第32页 |
3.2.4 主成分得分控制图 | 第32-33页 |
3.2.5 贡献图 | 第33-34页 |
第四章 针对间歇过程的过程监控技术 | 第34-38页 |
4.1 间歇过程的两种数据展开方式 | 第34-35页 |
4.2 多向主成分分析(MPCA) | 第35-36页 |
4.3 多向偏最小二乘分析(MPLS) | 第36-37页 |
4.4 间歇过程监控流程 | 第37-38页 |
第五章 多变量统计过程控制在太阳能电池制造中的应用 | 第38-54页 |
5.1 太阳能电池的制造流程 | 第38-41页 |
5.1.1 硅面表面准备 | 第38-39页 |
5.1.2 扩散制结 | 第39-40页 |
5.1.3 去背结 | 第40页 |
5.1.4 腐蚀周边 | 第40页 |
5.1.5 制减反应膜 | 第40-41页 |
5.1.6 制作上下电极 | 第41页 |
5.2 多变量统计过程控制在扩散制结中的应用 | 第41-54页 |
5.2.1 利用多向主成分分析(MPCA)方法对过程进行监控 | 第41-51页 |
5.2.2 利用多向偏最小二乘方法(MPLS)对过程进行监控 | 第51-54页 |
第六章 结束语 | 第54-55页 |
6.1 总结 | 第54页 |
6.2 展望 | 第54-55页 |
致谢 | 第55-56页 |
参考文献 | 第56-59页 |
在学期间发表学术论文 | 第59-60页 |
详细摘要 | 第60-73页 |