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多变量统计过程控制在太阳能电池制造中的应用

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第9-17页
    1.1 引言第9页
    1.2 间歇过程概述第9-10页
    1.3 统计过程控制的发展历史和应用现状第10-12页
    1.4 统计过程控制的研究展望第12页
    1.5 统计过程控制的相关概念第12-13页
        1.5.1 相关概念第12-13页
        1.5.2 数据的收集和整理第13页
    1.6 太阳能电池概述第13-16页
        1.6.1 太阳能电池的分类第14页
        1.6.2 单晶硅太阳能电池的工作原理第14-16页
    1.7 本文主要内容第16-17页
第二章 单变量统计过程控制第17-22页
    2.1 概述第17页
    2.2 控制图原理第17-19页
        2.2.1 两类波动第17-18页
        2.2.2 两类错误和3~σ方式第18-19页
    2.3 控制图的分类及应用第19-21页
        2.3.1 控制图的种类第19-20页
        2.3.2 控制图的应用步骤第20-21页
    2.4 单变量统计过程控制的局限性第21-22页
第三章 多变量统计过程控制第22-34页
    3.1 多变量统计过程控制的监控技术第22-30页
        3.1.1 主成分分析第22-27页
        3.1.2 主成分回归第27-28页
        3.1.3 偏最小二乘回归第28-30页
    3.2 多变量统计过程控制图第30-34页
        3.2.1 平方预测误差图第30-31页
        3.2.2 Hotelling T~2控制图第31-32页
        3.2.3 D-To-Model控制图第32页
        3.2.4 主成分得分控制图第32-33页
        3.2.5 贡献图第33-34页
第四章 针对间歇过程的过程监控技术第34-38页
    4.1 间歇过程的两种数据展开方式第34-35页
    4.2 多向主成分分析(MPCA)第35-36页
    4.3 多向偏最小二乘分析(MPLS)第36-37页
    4.4 间歇过程监控流程第37-38页
第五章 多变量统计过程控制在太阳能电池制造中的应用第38-54页
    5.1 太阳能电池的制造流程第38-41页
        5.1.1 硅面表面准备第38-39页
        5.1.2 扩散制结第39-40页
        5.1.3 去背结第40页
        5.1.4 腐蚀周边第40页
        5.1.5 制减反应膜第40-41页
        5.1.6 制作上下电极第41页
    5.2 多变量统计过程控制在扩散制结中的应用第41-54页
        5.2.1 利用多向主成分分析(MPCA)方法对过程进行监控第41-51页
        5.2.2 利用多向偏最小二乘方法(MPLS)对过程进行监控第51-54页
第六章 结束语第54-55页
    6.1 总结第54页
    6.2 展望第54-55页
致谢第55-56页
参考文献第56-59页
在学期间发表学术论文第59-60页
详细摘要第60-73页

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