| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 选题的背景及意义 | 第9页 |
| 1.2 缓蚀剂的介绍 | 第9-14页 |
| 1.2.1 缓蚀剂的定义 | 第9-10页 |
| 1.2.2 缓蚀剂的分类 | 第10-11页 |
| 1.2.3 缓蚀剂的发展历史 | 第11-14页 |
| 1.3 缓蚀剂的协同作用 | 第14-16页 |
| 1.3.1 有机类与有机类之间的协同作用 | 第15页 |
| 1.3.2 有机类与无机类之间的协同作用 | 第15页 |
| 1.3.3 无机类与无机类之间的协同作用 | 第15-16页 |
| 1.4 本课题的研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 理论计算方法简介 | 第18-21页 |
| 2.1 量子化学计算 | 第18-19页 |
| 2.2 分子动力学模拟 | 第19-21页 |
| 第三章 两种缓蚀剂缓蚀性能的量化研究 | 第21-31页 |
| 3.1 引言 | 第21页 |
| 3.2 计算方法 | 第21-22页 |
| 3.3 结果的分析与讨论 | 第22-29页 |
| 3.3.1 前线轨道分布 | 第22-24页 |
| 3.3.2 全局反应活性 | 第24-26页 |
| 3.3.3 局部反应活性 | 第26-29页 |
| 3.4 小结 | 第29-31页 |
| 第四章 两种缓蚀剂复配在 Fe 表面上的吸附研究 | 第31-49页 |
| 4.1 引言 | 第31页 |
| 4.2 计算方法 | 第31-35页 |
| 4.2.1 单缓蚀剂在金属表面的吸附计算 | 第31-32页 |
| 4.2.2 缓蚀剂膜密度的计算 | 第32-33页 |
| 4.2.3 扩散模型细节的计算 | 第33-35页 |
| 4.3 模拟结果分析与讨论 | 第35-47页 |
| 4.3.1 单缓蚀剂分子的平衡吸附判断、构型及吸附能分析 | 第35-37页 |
| 4.3.2 不同缓蚀剂膜密度的确定 | 第37-38页 |
| 4.3.3 腐蚀粒子的扩散系数的计算 | 第38-42页 |
| 4.3.4 缓蚀剂膜的自由体积 | 第42-46页 |
| 4.3.5 缓蚀剂膜的自扩散系数(DS) | 第46-47页 |
| 4.4 小结 | 第47-49页 |
| 结论与展望 | 第49-51页 |
| 1. 结论 | 第49-50页 |
| 2. 展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-59页 |
| 致谢 | 第59页 |