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3-ATA与PASP复配在Fe表面缓蚀机理的研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第9-18页
    1.1 选题的背景及意义第9页
    1.2 缓蚀剂的介绍第9-14页
        1.2.1 缓蚀剂的定义第9-10页
        1.2.2 缓蚀剂的分类第10-11页
        1.2.3 缓蚀剂的发展历史第11-14页
    1.3 缓蚀剂的协同作用第14-16页
        1.3.1 有机类与有机类之间的协同作用第15页
        1.3.2 有机类与无机类之间的协同作用第15页
        1.3.3 无机类与无机类之间的协同作用第15-16页
    1.4 本课题的研究内容第16-18页
第二章 理论计算方法简介第18-21页
    2.1 量子化学计算第18-19页
    2.2 分子动力学模拟第19-21页
第三章 两种缓蚀剂缓蚀性能的量化研究第21-31页
    3.1 引言第21页
    3.2 计算方法第21-22页
    3.3 结果的分析与讨论第22-29页
        3.3.1 前线轨道分布第22-24页
        3.3.2 全局反应活性第24-26页
        3.3.3 局部反应活性第26-29页
    3.4 小结第29-31页
第四章 两种缓蚀剂复配在 Fe 表面上的吸附研究第31-49页
    4.1 引言第31页
    4.2 计算方法第31-35页
        4.2.1 单缓蚀剂在金属表面的吸附计算第31-32页
        4.2.2 缓蚀剂膜密度的计算第32-33页
        4.2.3 扩散模型细节的计算第33-35页
    4.3 模拟结果分析与讨论第35-47页
        4.3.1 单缓蚀剂分子的平衡吸附判断、构型及吸附能分析第35-37页
        4.3.2 不同缓蚀剂膜密度的确定第37-38页
        4.3.3 腐蚀粒子的扩散系数的计算第38-42页
        4.3.4 缓蚀剂膜的自由体积第42-46页
        4.3.5 缓蚀剂膜的自扩散系数(DS)第46-47页
    4.4 小结第47-49页
结论与展望第49-51页
    1. 结论第49-50页
    2. 展望第50-51页
参考文献第51-59页
致谢第59页

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