| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 本论文的研究背景 | 第10-12页 |
| 1.2 光纤声光器件的研究进展 | 第12-16页 |
| 1.3 本论文的研究内容 | 第16-19页 |
| 2 薄膜超声换能器理论分析 | 第19-41页 |
| 2.1 薄膜超声换能器的基本原理 | 第20-27页 |
| 2.2 ZnO压电薄膜超声换能器振动模式理论 | 第27-29页 |
| 2.3 ZnO压电薄膜超声换能器的建模 | 第29-40页 |
| 2.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 3 ZnO薄膜超声换能器模拟分析 | 第41-54页 |
| 3.1 多物理场耦合的数学模型分析方法 | 第41-42页 |
| 3.2 基于有限元方法的多物理场耦合方法 | 第42-51页 |
| 3.3 电极和压电薄膜材料对薄膜换能器性能的影响 | 第51-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 4 ZnO薄膜超声换能器的表征与制备 | 第54-74页 |
| 4.1 ZnO薄膜的制备和表征设备 | 第54-58页 |
| 4.2 磁控溅射设备工艺参数对ZnO压电薄膜的影响 | 第58-66页 |
| 4.3 ZnO薄膜超声换能器的制备与测试 | 第66-72页 |
| 4.4 本章小结 | 第72-74页 |
| 5 ZnO薄膜超声换能器泛频优化 | 第74-85页 |
| 5.1 横模产生和抑制的方法 | 第74-75页 |
| 5.2 电极表面微振动测量的激光干涉系统 | 第75-77页 |
| 5.3 ZnO圆形、环形薄膜超声换能器中横模理论分析 | 第77-80页 |
| 5.4 圆形、环形薄膜超声换能器中横模优化与比较 | 第80-84页 |
| 5.5 本章小结 | 第84-85页 |
| 6 基于ZnO薄膜超声换能器的声光器件测试 | 第85-97页 |
| 6.1 布拉格声光衍射理论分析 | 第85-90页 |
| 6.2 基于ZnO薄膜超声换能器的声光效应测试实验 | 第90-95页 |
| 6.3 本章小结 | 第95-97页 |
| 7 全文总结 | 第97-99页 |
| 致谢 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-113页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第113页 |
