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基于光纤分光干涉原理的激光微位移测量系统研究

致谢第7-8页
摘要第8-9页
ABSTRACT第9页
第一章 绪论第15-21页
    1.1 光纤微位移测量的背景与研究意义第15-16页
    1.2 光纤微位移测量的研究现状第16-19页
        1.2.1 传导型第16页
        1.2.2 干涉型第16-19页
            1.2.2.1 光纤迈克尔逊干涉型第16-17页
            1.2.2.2 光纤Mach-Zehnder干涉型第17-18页
            1.2.2.3 光纤Fabry-Perot干涉型第18-19页
    1.3 课题的意义和主要研究内容第19-21页
第二章 光纤传感与干涉的理论基础第21-27页
    2.1 光纤传感技术概述第21页
    2.2 光纤分光干涉原理第21-25页
        2.2.1 迈克尔逊干涉原理第21-24页
        2.2.2 单光纤双光束干涉测量原理第24-25页
    2.3 系统的测量原理第25-27页
        2.3.1 位移测量原理第25-26页
        2.3.2 量程测量原理第26页
        2.3.3 细分和计数原理第26-27页
第三章 光纤分光干涉微位移测量实验系统设计第27-42页
    3.1 系统的总体架构设计第27-28页
    3.2 器件选型第28-34页
        3.2.1 光源第28页
        3.2.2 光环形器第28-30页
        3.2.3 光纤准直器第30-31页
        3.2.4 光电探测器第31-32页
        3.2.5 PI位移台第32页
        3.2.6 电控组合位移台第32-33页
        3.2.7 SIOS激光干涉仪第33-34页
    3.3 微位移测量模块设计第34-42页
        3.3.1 微位移测量模块硬件设计第34-40页
            3.3.1.1 微控制器模块设计第34-36页
            3.3.1.2 A/D采样模块设计第36-37页
            3.3.1.3 液晶显示模块设计第37-38页
            3.3.1.4 光强检测模块设计第38-39页
            3.3.1.5 微位移测量模块第39-40页
        3.3.2 微位移测量模块软件设计第40-42页
第四章 系统实验与数据分析第42-62页
    4.1 验证实验第42-50页
        4.1.1 微位移定性测量实验第42-45页
        4.1.2 微位移定量测量实验第45-50页
    4.2 测量实验第50-61页
        4.2.1 大量程定性测量实验第50-53页
        4.2.2 大量程定量测量实验第53-61页
        4.2.3 误差分析第61页
    4.3 实验总结与分析第61-62页
第五章 总结与展望第62-63页
    5.1 总结第62页
    5.2 展望第62-63页
参考文献第63-66页
攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况第66页

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