| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第13-22页 |
| 1.1 研究的背景及意义 | 第13-15页 |
| 1.2 含氧涂层的发展与现状 | 第15-17页 |
| 1.3 PVD硬质涂层的制备方法 | 第17-20页 |
| 1.4 薄膜的生长机理 | 第20-21页 |
| 1.5 课题来源与主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 涂层的研究制备和分析方法 | 第22-29页 |
| 2.1 研究路线 | 第22页 |
| 2.2 涂层的制备 | 第22-26页 |
| 2.3 涂层的结构与性能分析方法 | 第26-29页 |
| 第三章 不同含氧量的CrAlSiON涂层分析 | 第29-51页 |
| 3.1 涂层的成分与物相 | 第29-32页 |
| 3.2 涂层的形貌与结构 | 第32-35页 |
| 3.3 涂层的硬度、弹性模量与H~3/E~(*2) | 第35-36页 |
| 3.4 涂层的结合强度 | 第36-38页 |
| 3.5 涂层的高温摩擦磨损性能 | 第38-42页 |
| 3.6 涂层的高温热稳定性 | 第42-49页 |
| 3.7 本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 较低含氧下不同偏压制备的CrAlSiON涂层分析 | 第51-77页 |
| 4.1 涂层的成分与物相 | 第51-53页 |
| 4.2 涂层的形貌与结构 | 第53-54页 |
| 4.3 涂层的硬度、弹性模量与H~3/E~(*2) | 第54-56页 |
| 4.4 涂层的结合强度 | 第56-58页 |
| 4.5 涂层的摩擦磨损性能 | 第58-67页 |
| 4.6 涂层的高温热稳定性 | 第67-75页 |
| 4.7 本章小结 | 第75-77页 |
| 第五章 较高含氧下不同偏压制备的CrAlSiON涂层分析 | 第77-97页 |
| 5.1 涂层的成分与物相 | 第77-79页 |
| 5.2 涂层的形貌与结构 | 第79-80页 |
| 5.3 涂层的硬度、弹性模量与H~3/E~(*2) | 第80-82页 |
| 5.4 涂层的结合强度 | 第82-83页 |
| 5.5 涂层的常温摩擦磨损性能 | 第83-88页 |
| 5.6 涂层的高温热稳定性 | 第88-95页 |
| 5.7 本章小结 | 第95-97页 |
| 总结与展望 | 第97-100页 |
| 参考文献 | 第100-106页 |
| 攻读学位期间发表的论文及申请的专利 | 第106-108页 |
| 致谢 | 第108页 |
