单晶硅曲面镜低损伤精密磨削及检测技术研究
| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 课题来源与意义 | 第11-13页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第11页 |
| 1.1.2 课题研究背景及意义 | 第11-13页 |
| 1.2 单晶硅材料的精密磨削概述及研究现状 | 第13-18页 |
| 1.2.1 精密磨削加工的概述 | 第13-14页 |
| 1.2.2 国内外研究现状 | 第14-18页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第18-21页 |
| 1.3.1 研究目标及研究思路 | 第18-19页 |
| 1.3.2 内容安排 | 第19-21页 |
| 第二章 单晶硅精密磨削材料去除机理研究 | 第21-28页 |
| 2.1 磨削基本理论概述 | 第21-23页 |
| 2.1.1 单颗磨粒力学模型 | 第21-22页 |
| 2.1.2 延性域磨削理论 | 第22-23页 |
| 2.2 单晶硅材料延性域磨削的实现条件分析 | 第23-25页 |
| 2.2.1 基于压痕实验的临界载荷分析 | 第23-24页 |
| 2.2.2 基于数值计算的砂轮转速分析 | 第24-25页 |
| 2.2.3 基于数值计算的临界切深分析 | 第25页 |
| 2.3 曲面单晶硅精密磨削形式选择 | 第25-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 曲面单晶硅磨削面形精度影响分析 | 第28-40页 |
| 3.1 面形精度的影响因素 | 第28页 |
| 3.2 对刀误差对面形精度的影响分析 | 第28-33页 |
| 3.2.1 Y方向对刀误差 | 第28-30页 |
| 3.2.2 X方向对刀误差 | 第30-32页 |
| 3.2.3 中心对准准则 | 第32-33页 |
| 3.3 砂轮磨损对面形精度的影响分析 | 第33-36页 |
| 3.3.1 砂轮磨损与面形误差的几何关系 | 第33-34页 |
| 3.3.2 砂轮的磨损规律 | 第34-36页 |
| 3.4 砂轮修整工艺与震颤控制 | 第36-38页 |
| 3.5 迭代磨削工艺路线 | 第38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 曲面单晶硅磨削亚表面缺陷分布规律研究 | 第40-49页 |
| 4.1 亚表面缺陷的检测手段 | 第40-41页 |
| 4.2 不同工艺参数下磨削力的变化规律 | 第41-45页 |
| 4.2.1 磨削力测试实验 | 第41-44页 |
| 4.2.2 磨削力与工艺参数之间的联系 | 第44-45页 |
| 4.3 不同工艺参数下缺陷深度的变化规律 | 第45-48页 |
| 4.3.1 缺陷深度检测实验 | 第45-47页 |
| 4.3.2 缺陷深度与工艺参数之间的联系 | 第47-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 高精度低损伤工艺优化磨削实验 | 第49-61页 |
| 5.1 实验方案与工艺规划 | 第49-53页 |
| 5.1.1 磨削工艺平台介绍 | 第49-50页 |
| 5.1.2 检测方法介绍 | 第50-52页 |
| 5.1.3 工艺路线规划 | 第52-53页 |
| 5.2 在位测量与补偿加工 | 第53-56页 |
| 5.2.1 在位测量的可信度验证 | 第53-55页 |
| 5.2.2 基于在位测量的补偿加工 | 第55页 |
| 5.2.3 砂轮磨损的补偿加工 | 第55-56页 |
| 5.3 实验结果与分析 | 第56-60页 |
| 5.3.1 表面质量的结果与分析 | 第56-58页 |
| 5.3.2 面形精度的结果与分析 | 第58页 |
| 5.3.3 亚表面缺陷深度的结果与分析 | 第58-60页 |
| 5.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 6.1 全文总结 | 第61-62页 |
| 6.2 研究展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第69页 |
