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磁控溅射制备掺杂二硫化钼固体润滑复合膜的性能研究

摘要第5-7页
Abstract第7-9页
第一章 绪论第13-24页
    1.1 引言第13页
    1.2 摩擦与磨损第13-15页
        1.2.1 摩擦概论与分类第13-14页
        1.2.2 磨损的定义与分类第14-15页
        1.2.3 减轻材料磨损的主要措施第15页
    1.3 固体润滑第15-19页
        1.3.1 固体润滑的定义第15-16页
        1.3.2 固体润滑材料的分类第16页
        1.3.3 固体润滑材料的特性第16-17页
        1.3.4 固体润滑机理第17-18页
        1.3.5 固体润滑膜的制备方法第18-19页
    1.4 MoS_2固体润滑薄膜第19-22页
        1.4.1 纯MoS_2的分子结构及性能第19-20页
        1.4.2 MoS_2薄膜的微观形貌第20页
        1.4.3 MoS_2固体润滑薄膜的国内外研究现状第20-22页
    1.5 选题依据第22页
    1.6 研究内容第22-24页
第二章 实验材料设备及表征第24-32页
    2.1 实验基体材料与制备第24页
    2.2 实验设备及原理第24-26页
    2.3 实验方案第26-28页
    2.4 实验流程第28页
    2.5 薄膜结构与性能表征方法第28-32页
        2.5.1 薄膜显微硬度测试第28-29页
        2.5.2 薄膜厚度表征第29页
        2.5.3 薄膜结合强度表征第29-30页
        2.5.4 薄膜的相结构分析第30页
        2.5.5 薄膜的微观形貌分析第30-31页
        2.5.6 薄膜拉曼光谱分析第31页
        2.5.7 薄膜的摩擦磨损性能测试第31页
        2.5.8 薄膜的磨损量及 3D磨痕形貌表征第31-32页
第三章 MoS_2-metal(Cr、Ni、Zr)复合薄膜的性能研究第32-61页
    3.1 引言第32页
    3.2 MoS_2-Cr复合薄膜的性能研究第32-41页
        3.2.1 MoS_2-Cr复合薄膜成分及表面、截面形貌分析第32-34页
        3.2.2 MoS_2-Cr复合薄膜XRD分析第34-36页
        3.2.3 MoS_2-Cr复合薄膜的显微硬度及压痕形貌第36-37页
        3.2.4 MoS_2-Cr复合薄膜的摩擦学性能第37-41页
    3.3 MoS_2-Ni复合薄膜的性能研究第41-50页
        3.3.1 MoS_2-Ni复合薄膜成分及表面、截面形貌分析第41-43页
        3.3.2 MoS_2-Ni复合薄膜的XRD分析第43页
        3.3.3 MoS_2-Ni复合薄膜的显微硬度及压痕形貌第43-45页
        3.3.4 MoS_2-Ni复合薄膜的摩擦学性能第45-50页
    3.4 MoS_2-Zr复合薄膜的性能研究第50-59页
        3.4.1 MoS_2-Zr复合薄膜成分及表面、截面形貌分析第50-52页
        3.4.2 MoS_2-Zr复合薄膜XRD分析第52页
        3.4.3 MoS_2-Zr复合薄膜的显微硬度及压痕形貌第52-54页
        3.4.4 MoS_2-Zr复合薄膜的摩擦磨损性能第54-59页
    3.5 本章小结第59-61页
第四章 MoS_2-C、MoS_2-Ti-C复合薄膜的性能研究第61-76页
    4.1 引言第61页
    4.2 MoS_2-C复合薄膜的性能研究第61-69页
        4.2.1 MoS_2-C复合薄膜成分及表面、截面形貌分析第61-63页
        4.2.2 MoS_2-C复合薄膜的XRD图谱第63-64页
        4.2.3 MoS_2-C复合薄膜的显微硬度及压痕形貌第64-66页
        4.2.4 MoS_2-C复合薄膜的摩擦磨损性能第66-69页
    4.3 MoS_2-Ti-C复合薄膜的性能研究第69-75页
        4.3.1 MoS_2-Ti-C复合薄膜成分及表面、截面形貌分析第69-71页
        4.3.2 MoS_2-Ti-C复合薄膜的显微硬度及压痕形貌第71-72页
        4.3.3 MoS_2-Ti-C复合薄膜的摩擦磨损性能第72-75页
    4.4 本章小结第75-76页
全文总结第76-79页
参考文献第79-84页
攻读硕士学位期间取得的研究成果第84-85页
致谢第85-86页
附件第86页

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