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微波合成SiC晶体的工艺研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第11-25页
    1.1 引言第11-12页
    1.2 SiC晶体结构与电学性质第12-13页
        1.2.1 SiC晶体结构第12-13页
        1.2.2 SiC电学性质第13页
    1.3 SiC晶体的应用第13-14页
    1.4 SiC晶体的制备方法第14-19页
        1.4.1 化学气相沉积法第14-15页
        1.4.2 热蒸发法第15页
        1.4.3 电弧放电法第15页
        1.4.4 碳热还原法第15-16页
        1.4.5 溶剂热法第16-17页
        1.4.6 溶胶凝胶法第17页
        1.4.7 模板法第17-19页
    1.5 微波加热技术第19-23页
        1.5.1 微波加热原理第19-21页
        1.5.2 微波加热特点第21-22页
        1.5.3 微波制备SiC研究现状第22-23页
        1.5.4 微波制备SiC存在的问题第23页
    1.6 选题背景和研究意义第23-25页
        1.6.1 选题目的及意义第23页
        1.6.2 研究内容第23-24页
        1.6.3 本课题的创新点第24-25页
2 实验方案及性能表征第25-32页
    2.1 实验原料第25-27页
        2.1.1 实验原料分类第25页
        2.1.2 煤炭原料成分第25-27页
    2.2 实验装置第27-30页
        2.2.1 实验仪器第27页
        2.2.2 微波加热装置第27-29页
        2.2.3 保温装置设计第29-30页
    2.3 分析测试第30-32页
        2.3.1 X射线衍射分析仪第30页
        2.3.2 扫描电子显微镜和能量色散显微分析第30页
        2.3.3 透射电子显微镜第30-32页
3 不同碳源微波合成SiC晶体第32-41页
    3.1 不同碳源的制备与表征第32-33页
        3.1.1 碳源的制备第32页
        3.1.2 碳源的性能表征第32-33页
    3.2 SiC前驱体的制备与表征第33-36页
        3.2.1 溶胶凝胶制备前驱体第33-34页
        3.2.2 前驱体的表征第34-35页
        3.2.3 粉体成型第35-36页
    3.3 SiC晶体的微波合成与性能表征第36-39页
        3.3.1 SiC晶体制备工艺第36页
        3.3.2 物相分析第36-38页
        3.3.3 形貌分析第38-39页
    3.4 本章小结第39-41页
4 微波加热合成SiC晶体的工艺研究第41-57页
    4.1 大颗粒煤炭下微波合成SiC晶体工艺的研究第41-46页
        4.1.1 物相分析第41-42页
        4.1.2 形貌分析第42-44页
        4.1.3 堆垛层错分析第44-46页
    4.2 中颗粒煤炭下微波合成SiC晶体工艺的研究第46-50页
        4.2.1 物相分析第46-47页
        4.2.2 形貌分析第47-49页
        4.2.3 堆垛层错分析第49-50页
    4.3 小颗粒煤炭下微波合成SiC晶体工艺的研究第50-55页
        4.3.1 物相分析第50-52页
        4.3.2 形貌分析第52页
        4.3.3 堆垛层错分析第52-55页
    4.4 产物环境分析第55-57页
5 微波合成SiC晶体中加热机理和晶体生长动力学的研究第57-71页
    5.1 微波合成SiC晶体加热机理的研究第57-62页
        5.1.1 微波加热热效应行为分析第57-60页
        5.1.2 形貌分析第60-62页
    5.2 颗粒尺寸效应研究第62-65页
        5.2.1 微波加热热效应行为分析第62-63页
        5.2.2 物相分析第63-64页
        5.2.3 形貌分析第64-65页
    5.3 微波加热合成SiC晶体生长动力学第65-71页
        5.3.1 微波加热效应对高温物理化学反应变化的研究第65-66页
        5.3.2 微波加热过程中SiC晶体生长第66-71页
6 结论与展望第71-73页
    6.1 结论第71-72页
    6.2 展望第72-73页
参考文献第73-80页
个人简历、在学期间成果第80-82页
致谢第82页

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