| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 本课题的研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 磁控溅射电源的研究现状 | 第9-10页 |
| 1.3 全桥变换器的研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3.1 全桥变换器控制方式的研究 | 第10-11页 |
| 1.3.2 全桥变换器软开关的提出 | 第11-12页 |
| 1.3.3 移相全桥变换器的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.4 课题研究主要内容 | 第13-14页 |
| 2 加辅助变压器ZVS全桥变换器的研究 | 第14-24页 |
| 2.1 几种加辅助网络全桥变换器拓扑的分析 | 第14-16页 |
| 2.1.1 一种带饱和电感辅助电流源全桥变换器 | 第14页 |
| 2.1.2 一种有源钳位网络的全桥变换器 | 第14-15页 |
| 2.1.3 一种混合谐振PWM全桥变换器 | 第15页 |
| 2.1.4 一种加换流电容和辅助LC网络的全桥变换器 | 第15-16页 |
| 2.2 加辅助变压器ZVS全桥变换器拓扑的分析 | 第16-22页 |
| 2.2.1 加辅助变压器ZVS全桥变换器的拓扑结构 | 第16-17页 |
| 2.2.2 加辅助变压器ZVS全桥变换器的工作原理 | 第17-22页 |
| 2.3 本章小结 | 第22-24页 |
| 3 加辅助变压器ZVS全桥变换器关键问题的研究 | 第24-36页 |
| 3.1 软开关实现相关问题分析 | 第24-27页 |
| 3.1.1 传统移相全桥变换器软开关的实现 | 第24-25页 |
| 3.1.2 加辅助变压器ZVS全桥变换器软开关的实现 | 第25-26页 |
| 3.1.3 辅助变压器励磁电感的设计 | 第26-27页 |
| 3.1.4 辅助电容的设计 | 第27页 |
| 3.2 环流抑制相关问题分析 | 第27-29页 |
| 3.2.1 环流抑制的实现 | 第27-28页 |
| 3.2.2 阻断电容的设计 | 第28-29页 |
| 3.3 占空比丢失问题分析 | 第29-30页 |
| 3.4 变压器二次侧寄生振荡问题分析 | 第30-34页 |
| 3.4.1 传统移相全桥变换器变压器二次侧寄生振荡分析 | 第31-32页 |
| 3.4.2 加辅助变压器ZVS全桥变换器变压器二次侧寄生振荡分析 | 第32-34页 |
| 3.5 本章小结 | 第34-36页 |
| 4 加辅助变压器ZVS全桥变换器参数设计及器件选型 | 第36-52页 |
| 4.1 输入电路的设计与选型 | 第37-40页 |
| 4.1.1 三相不控整流桥的选型 | 第37页 |
| 4.1.2 输入滤波电容的选型 | 第37-38页 |
| 4.1.3 输入滤波容均压电阻的选型 | 第38-40页 |
| 4.2 主电路开关器件选型 | 第40-42页 |
| 4.2.1 功率开关管选型 | 第40-41页 |
| 4.2.2 开关管外接并联电容的选型 | 第41-42页 |
| 4.2.3 阻断电容的选型 | 第42页 |
| 4.2.4 辅助电容的选型 | 第42页 |
| 4.3 高频变压器设计 | 第42-47页 |
| 4.4 整流二极管的选型 | 第47-48页 |
| 4.5 输出滤波电路的选型 | 第48-49页 |
| 4.6 吸收电路的选型 | 第49-50页 |
| 4.7 本章小结 | 第50-52页 |
| 5 仿真及实验结果分析 | 第52-64页 |
| 5.1 加辅助变压器ZVS全桥变换器的仿真分析 | 第52-55页 |
| 5.1.1 主电路仿真结构和参数 | 第52-53页 |
| 5.1.2 仿真波形及分析 | 第53-55页 |
| 5.2 加辅助变压器ZVS全桥变换器的实验分析 | 第55-63页 |
| 5.2.1 实验平台的搭建和参数 | 第56-57页 |
| 5.2.2 传统移相全桥实验结果及分析 | 第57-59页 |
| 5.2.3 本文使用全桥变换器实验结果及分析 | 第59-63页 |
| 5.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 6 总结与展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 附录 | 第72-74页 |
