激光干涉仪信号处理系统及纳米测量机控制系统的研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 图表清单 | 第13-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-23页 |
| ·纳米技术 | 第16-17页 |
| ·纳米计量 | 第17-18页 |
| ·纳米测量技术发展概况 | 第18-20页 |
| ·课题来源与研究意义 | 第20-21页 |
| ·主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 系统结构 | 第23-34页 |
| ·计量基准装置总体结构 | 第23-24页 |
| ·测量控制系统结构 | 第24-32页 |
| ·I-DSP处理机 | 第26-27页 |
| ·Z-DSP处理机 | 第27-28页 |
| ·DSP处理机基础架构 | 第28-32页 |
| ·DSP-数据处理与控制核心 | 第28-29页 |
| ·堆栈式总线 | 第29-31页 |
| ·CPLD-逻辑控制核心 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 激光干涉仪信号处理系统的实现 | 第34-62页 |
| ·激光偏振干涉仪 | 第34-36页 |
| ·相位细分 | 第36-38页 |
| ·光学倍程法 | 第36-37页 |
| ·电子细分 | 第37-38页 |
| ·干涉仪误差修正 | 第38-41页 |
| ·干涉仪误差来源 | 第38页 |
| ·干涉仪误差模型 | 第38-39页 |
| ·Heydemann修正法 | 第39页 |
| ·谐波分离修正法 | 第39-41页 |
| ·误差修正与相位细分设计 | 第41-46页 |
| ·设计原理 | 第41-42页 |
| ·硬件查表算法 | 第42-44页 |
| ·仿真实验 | 第44-46页 |
| ·干涉仪信号处理电路设计与实现 | 第46-60页 |
| ·光电转换 | 第47-48页 |
| ·信号调理 | 第48-51页 |
| ·调整零位 | 第49页 |
| ·调整相位正交 | 第49-51页 |
| ·调整幅值相等 | 第51页 |
| ·实际信号调理板 | 第51页 |
| ·数据采集 | 第51-55页 |
| ·模数转换电路 | 第52-53页 |
| ·ADC控制电路 | 第53-54页 |
| ·滑动滤波 | 第54-55页 |
| ·数据采集CPLD | 第55页 |
| ·误差修正和相位细分 | 第55-60页 |
| ·干涉条纹计数 | 第55-57页 |
| ·存储器 | 第57-58页 |
| ·CPLD内部状态配置 | 第58页 |
| ·误差修正和相位细分CPLD整体设计 | 第58-60页 |
| ·干涉仪信号处理电路板实现说明 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第四章 纳米测量机的控制系统实现 | 第62-75页 |
| ·纳米测量机控制方式 | 第62-64页 |
| ·DSP处理机地址空间 | 第64-67页 |
| ·数据通信 | 第67-73页 |
| ·数据通信逻辑架构 | 第67-68页 |
| ·总线驱动与电平转换 | 第68-69页 |
| ·DSP与CPLD通信 | 第69-70页 |
| ·DSP与高速IO卡通信 | 第70-71页 |
| ·PIO通信 | 第71-72页 |
| ·RS232通信 | 第72-73页 |
| ·GIO通信 | 第73页 |
| ·实际电路说明 | 第73页 |
| ·本章小结 | 第73-75页 |
| 第五章 测量控制系统测试 | 第75-86页 |
| ·干涉仪信号调理实验 | 第75-77页 |
| ·测量控制系统测试 | 第77-84页 |
| ·DSP与CPLD通信测试 | 第77-78页 |
| ·模数转换电路精度 | 第78-83页 |
| ·DSP与高速IO卡通信测试 | 第83-84页 |
| ·本章小结 | 第84-86页 |
| 第六章 总结和展望 | 第86-89页 |
| 参考文献 | 第89-91页 |
| 致谢 | 第91页 |
