介质阻挡放电等离子体中氧原子密度的发射光谱测量

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
引言	第8-9页
1 文献综述	第9-27页
·气体放电的研究概况	第9-10页
·等离子体状态的分析	第10-11页
·气体的击穿	第11-15页
·帕邢定律	第11-12页
·杂质气体对击穿电位的影响	第12-13页
·电极对击穿电位的影响	第13-14页
·电场分布对击穿电位的影响	第14页
·外界电离源对击穿电位的影响	第14-15页
·介质阻挡放电	第15-24页
·低气压低温等离子体的光谱诊断	第24-26页
·本论文的选题	第26-27页
2 实验内容	第27-40页
·实验装置	第27-28页
·实验原理	第28-36页
·光谱的产生机理	第28-32页
·发射光谱诊断的实验装置	第32-36页
·基态氧原子浓度计算公式推导	第36-40页
3 氧气介质阻挡放电发射光谱诊断研究	第40-47页
·针板式电极结构与板板式电极结构比较	第40-41页
·氧原子信号随放电参数的变化规律	第41-43页
·介质阻挡放电中谱线强度随气压的变化	第41-42页
·介质阻挡介质阻挡放电中谱线强度随流量的变化	第42-43页
·介质阻挡放电中谱线强度随电压的变化	第43页
·电子温度和氧气离解率随气压和电压的变化	第43-47页
·电子温度随气压的变化	第43-45页
·O_2离解率随气压和电压的变化	第45-47页
结论	第47-48页
参考文献	第48-52页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第52-53页
致谢	第53-54页