| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 概述 | 第9页 |
| 1.2 论文研究背景 | 第9-12页 |
| 1.2.1 结构转写 | 第9-11页 |
| 1.2.2 结合飞秒激光直写和离子束刻蚀的转写思路 | 第11-12页 |
| 1.3 本论文的主要内容 | 第12-13页 |
| 第二章 离子束刻蚀技术 | 第13-24页 |
| 2.1 刻蚀技术简介 | 第13-19页 |
| 2.1.1 湿法刻蚀 | 第13-15页 |
| 2.1.2 干法刻蚀 | 第15-19页 |
| 2.2 离子束刻蚀技术 | 第19-23页 |
| 2.2.1 离子束刻蚀原理 | 第19-21页 |
| 2.2.2 离子束刻蚀在器件制造中的应用 | 第21-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 离子束刻蚀技术的快速探究 | 第24-35页 |
| 3.1 结合紫外光刻技术制作平面掩模 | 第24-28页 |
| 3.2 离子束刻蚀探究 | 第28-34页 |
| 3.2.1 离子束刻蚀过程 | 第28-30页 |
| 3.2.2 初步实验结果讨论 | 第30-31页 |
| 3.2.3 遇到的问题及解决方法 | 第31-32页 |
| 3.2.4 改善参数进一步探究 | 第32-34页 |
| 3.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 飞秒激光加工的离子束刻蚀 | 第35-48页 |
| 4.1 飞秒激光直写加工技术 | 第35-40页 |
| 4.1.1 飞秒激光加工技术的发展背景 | 第35页 |
| 4.1.2 激光加工原理及特点 | 第35-37页 |
| 4.1.3 飞秒激光加工系统 | 第37-40页 |
| 4.1.4 激光加工制作掩模图案 | 第40页 |
| 4.2 三维掩模结构的设计 | 第40-41页 |
| 4.3 三维结构转写的效果 | 第41-47页 |
| 4.3.1 飞秒激光器三维加工效果 | 第41-43页 |
| 4.3.2 转写后的效果 | 第43-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 总结与展望 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-55页 |
| 作者简介及科研情况 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |