| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-11页 |
| 2 人工电磁材料的理论及研究进展 | 第11-32页 |
| 2.1 人工电磁材料的特性 | 第11-18页 |
| 2.1.1 左手材料的特性 | 第11-16页 |
| 2.1.2 新型人工电磁材料的实现 | 第16-18页 |
| 2.2 新型人工电磁材料的研究现状及进展 | 第18-22页 |
| 2.2.1 微波段研究进展 | 第18-20页 |
| 2.2.2 太赫兹波段研究进展 | 第20-22页 |
| 2.2.3 红外、可见光波段研究进展 | 第22页 |
| 2.3 太赫兹波新型人工电磁材料应用 | 第22-31页 |
| 2.3.1 太赫兹波 | 第22-24页 |
| 2.3.2 太赫兹波人工电磁材料应用 | 第24-31页 |
| 2.3.2.1 探测器/传感器 | 第24-26页 |
| 2.3.2.2 调制器 | 第26-27页 |
| 2.3.2.3 滤波器 | 第27-28页 |
| 2.3.2.4 偏振器件 | 第28-29页 |
| 2.3.2.5 新型太赫兹人工电磁材料吸波器 | 第29-31页 |
| 2.4 小结 | 第31-32页 |
| 3 太赫兹人工电磁材料设计及制备技术 | 第32-46页 |
| 3.1 太赫兹人工电磁材料设计 | 第32-35页 |
| 3.1.1 数值分析方法 | 第32-33页 |
| 3.1.2 软件仿真、有效本构参数提取及反演等效参数 | 第33-35页 |
| 3.2 太赫兹人工电磁材料的衬底及制备技术 | 第35-44页 |
| 3.2.1 太赫兹人工电磁材料衬底及分类 | 第35-37页 |
| 3.2.1.1 刚性衬底材料 | 第35页 |
| 3.2.1.2 柔性衬底材料 | 第35-37页 |
| 3.2.2 太赫兹人工电磁材料的制备技术 | 第37-44页 |
| 3.2.2.1 电镀 | 第37-38页 |
| 3.2.2.2 磁控溅射 | 第38-40页 |
| 3.2.2.3 干法刻蚀 | 第40-41页 |
| 3.2.2.4 湿法刻蚀 | 第41页 |
| 3.2.2.5 光刻工艺 | 第41-44页 |
| 3.3 太赫兹新型人工电磁材料的表征技术 | 第44-45页 |
| 3.3.1 台阶仪 | 第44页 |
| 3.3.2 扫描电子显微镜 | 第44页 |
| 3.3.3 透射电子显微镜 | 第44-45页 |
| 3.3.4 原子力显微镜 | 第45页 |
| 3.4 小结 | 第45-46页 |
| 4 基于人工电磁材料的太赫兹吸波器研究 | 第46-66页 |
| 4.1 太赫兹新型人工电磁材料的参数反演 | 第46-52页 |
| 4.1.1 电谐振结构的参数反演 | 第46-48页 |
| 4.1.2 磁谐振结构的参数反演 | 第48-50页 |
| 4.1.3 左手材料的参数反演 | 第50-52页 |
| 4.2 吸波器基本原理 | 第52-53页 |
| 4.3 太赫兹十字缝隙结构吸波器的设计 | 第53-56页 |
| 4.3.1 十字缝隙吸波器结构模型的设计 | 第53-55页 |
| 4.3.2 电磁波入射角度对吸收率的影响 | 第55页 |
| 4.3.3 衬底厚度对吸收率的影响 | 第55-56页 |
| 4.4 柔性衬底太赫兹吸波器的制备 | 第56-59页 |
| 4.4.1 柔性衬底吸波器模型结构的设计 | 第56-58页 |
| 4.4.2 柔性衬底的制备 | 第58-59页 |
| 4.5 全介质吸波器的设计及制备 | 第59-65页 |
| 4.5.1 全介质吸波器模型结构的设计 | 第59-61页 |
| 4.5.2 周期单元尺寸对吸收率的影响 | 第61-62页 |
| 4.5.3 结构衬底金的厚度对吸收率的影响 | 第62页 |
| 4.5.4 高介电常数TiO2厚度对结构吸收率的影响 | 第62-63页 |
| 4.5.5 全介质吸波器结构的制备 | 第63-65页 |
| 4.6 小结 | 第65-66页 |
| 5 全文总结与展望 | 第66-68页 |
| 5.1 全文总结 | 第66页 |
| 5.2 展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 附录 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |