| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 太赫兹波的产生、探测与典型应用 | 第12-14页 |
| 1.3 基于超材料的太赫兹波探测方法与器件 | 第14-20页 |
| 1.4 论文的课题来源与各章节安排 | 第20-23页 |
| 2 超材料数值模拟计算 | 第23-52页 |
| 2.1 引言 | 第23-24页 |
| 2.2 时域有限积分法 | 第24页 |
| 2.3 频域有限元法 | 第24-25页 |
| 2.4 电磁场计算中的S参数模型 | 第25-26页 |
| 2.5 太赫兹频段超材料器件功能特性数值分析 | 第26-30页 |
| 2.6 典型SRR单元微结构配置的超材料仿真特性分析 | 第30-51页 |
| 2.7 小结 | 第51-52页 |
| 3 超材料器件的设计与制作 | 第52-67页 |
| 3.1 半导体基超材料 | 第52-54页 |
| 3.2 超材料关键制作工艺 | 第54-59页 |
| 3.3 基于微纳半导体工艺的面阵超材料探测器版图特征 | 第59-61页 |
| 3.4 肖特基型超材料的典型工艺流程 | 第61-65页 |
| 3.5 肖特基超材料电子学性能评估与分析 | 第65页 |
| 3.6 小结 | 第65-67页 |
| 4 基于CW-THz的超材料信号感测 | 第67-94页 |
| 4.1 引言 | 第67页 |
| 4.2 连续波太赫兹激光的产生与测量 | 第67-68页 |
| 4.3 太赫兹频段超材料器件的设计与制作 | 第68-77页 |
| 4.4 超材料在太赫兹频段透射特性研究 | 第77-92页 |
| 4.5 小结 | 第92-94页 |
| 5 基于THz-TDS的电控超材料信号感测 | 第94-139页 |
| 5.1 引言 | 第94页 |
| 5.2 电控超材料器件结构设计与制作 | 第94-105页 |
| 5.3 偶极子模型超材料在反射式THz-TDS中的透射特性 | 第105-119页 |
| 5.4 基于Fabry-Pérot模型超材料在光电导THz-TDS中的透射行为 | 第119-137页 |
| 5.5 小结 | 第137-139页 |
| 6 超材料对光频红外信号的感应与探测 | 第139-160页 |
| 6.1 引言 | 第139页 |
| 6.2 超材料对近红外激光的感应与探测 | 第139-155页 |
| 6.3 超材料对黑体红外波的感应与探测 | 第155-158页 |
| 6.4 小结 | 第158-160页 |
| 7 超材料对射频毫米波信号的感应与探测 | 第160-167页 |
| 7.1 射频毫米波特征 | 第160页 |
| 7.2 超材料对毫米波的感测 | 第160-166页 |
| 7.3 小结 | 第166-167页 |
| 8 基于超材料的光频射频一体化探测架构 | 第167-171页 |
| 8.1 超材料光学射频一体化探测架构 | 第167-170页 |
| 8.2 小结 | 第170-171页 |
| 9 总结及展望 | 第171-177页 |
| 9.1 研究总结 | 第171-174页 |
| 9.2 创新点 | 第174-175页 |
| 9.3 工作展望 | 第175-177页 |
| 致谢 | 第177-178页 |
| 参考文献 | 第178-191页 |
| 附录1 攻读博士期间发表的学术论文 | 第191-196页 |
| 附录2 公开发表的学术论文与博士学位论文的关系 | 第196-198页 |
| 附录3 攻读博士期间参与的科研项目 | 第198-199页 |
| 附录4 中英文缩写对照 | 第199页 |
